[实用新型]磨轮结构及研磨设备有效
| 申请号： | 201420258867.2 | 申请日： | 2014-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN203887678U | 公开（公告）日： | 2014-10-22 |
| 发明（设计）人： | 王贤超 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11;B24B37/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 结构 研磨 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种磨轮结构，包括轮体和若干间隔排列的研磨齿，所述研磨齿的底部固定于所述轮体上，其特征在于，所述研磨齿的顶面和侧面的夹角大于90°。
2.如权利要求1所述的磨轮结构，其特征在于，所述轮体为圆环状。
3.如权利要求1所述的磨轮结构，其特征在于，相邻的研磨齿顶部的间距范围是4mm～5mm。
4.如权利要求3所述的磨轮结构，其特征在于，相邻的研磨齿底部的间距范围是3mm～4mm。
5.如权利要求4所述的磨轮结构，其特征在于，所述研磨齿的顶部宽度范围是16mm～20mm。
6.如权利要求5所述的磨轮结构，其特征在于，所述研磨齿的高度范围是4mm～6mm。
7.如权利要求1所述的磨轮结构，其特征在于，所述研磨齿的顶面和侧面的夹角为93°、95°或100°。
8.如权利要求1所述的磨轮结构，其特征在于，所述研磨齿的个数大于等于10个。
9.如权利要求1所述的磨轮结构，其特征在于，所述若干研磨齿均匀排列。
10.一种研磨设备，其特征在于，包括至少一个如权利要求1至9中任一项所述的磨轮结构。
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