[实用新型]一种微试样夹持装置

权利要求书

1.一种微试样夹持装置，其特征在于：其包括：夹持部件(1)、调节部件(2)、吸附部件(3)和真空泵(4)；所述夹持部件(1)为上部敞口、下部开孔的内螺纹套筒，所述调节部件(2)为中间贯通的外螺纹套筒，所述夹持部件(1)与调节部件(2)通过螺接配合形成腔体，所述调节部件(2)内部设置台阶(15)；所述吸附部件(3)包括中空芯杆(5)，在所述中空芯杆(5)的底部套接有用于吸附微试样的吸盘(6)，在所述中空芯杆(5)下部设置与所述台阶(15)配合并用于支撑调节部件(2)的凸台(7)，所述凸台(7)的外径与夹持部件的内径相适应，所述吸附部件(3)贯穿于所述腔体，通过气管与真空泵(4)连接。

2.根据权利要求1所述的微试样夹持装置，其特征在于，所述中空芯杆(5)底部边缘设置外凸缘(13)，所述吸盘(6)设置有与所述外凸缘配合套嵌的内凹槽。

3.根据权利要求1所述的微试样夹持装置，其特征在于，所述吸盘(6)为硅胶吸盘，所述硅胶吸盘上部为硅胶套接件(8)，所述硅胶吸盘下部为双层吸盘(9)。

4.根据权利要求3所述的微试样夹持装置，其特征在于，所述夹持部件(1)的下部开孔孔径小于硅胶套接件(8)的外径而大于双层吸盘(9)的口径。

5.根据权利要求1所述的微试样夹持装置，其特征在于，所述夹持部件(1)内表面的下部设置有定位肩(10)。

6.根据权利要求1所述的微试样夹持装置，其特征在于，所述夹持部件(1)底部设置用于平衡试样磨削时所产生的剪切力的沉孔(11)，所述沉孔(11)与中空芯杆的通孔和夹持部件的下部开孔同轴设置。

7.根据权利要求1所述的微试样夹持装置，其特征在于，所述调节部件(2)设置有与调节部件的外螺纹配合的锁紧螺母(12)。

8.根据权利要求1所述的微试样夹持装置，其特征在于，所述调节部件(2)的外螺纹套筒的长度大于夹持部件的内螺纹套筒的内腔深度。

9.根据权利要求1所述的微试样夹持装置，其特征在于，所述中空芯杆(5)底部边缘的外凸缘粗糙度小于3.2。

10.根据权利要求1所述的微试样夹持装置，其特征在于，所述夹持部件(1)的外围的下部为外六角。