[实用新型]一种镀膜机

权利要求书

1.一种镀膜机，包括真空室、用于使真空罩内部保持真空状态的真空系统及蒸发源，该蒸发源设置于真空室内部，该真空系统包括辅助泵、扩散泵及机械泵，该机械泵包括泵体、定子及转子，所述的定子固定连接于泵体内，定子与泵体之间灌满油，定子内部设置有圆柱状定子腔，转子位于该定子腔内，转子可转动的连接于定子上，其特征在于：所述的真空室内设置有周向旋转的基座，该基座上设置有多层行星式工件架，该行星式工件架包括底盘、若干片工件片及转动轴，所述的底盘的中心设置有第一通孔，转动轴从第一通孔穿过，底盘上设置有若干相互独立的第二通孔，且各第二通孔绕第一通孔周向分布，各工件片位于相应的第二通孔内，且各工件片可绕第二通孔旋转，该转动轴上套设有第一斜齿轮，各工件片上设置有与第一斜齿轮相啮合的第二斜齿轮。

2.根据权利要求1所述的镀膜机，其特征在于：所述的转子在定子腔内做偏心转动，所述的泵体上设置有进气口及排气口，该进气口与定子腔导通，所述的定子上还设置有排气阀，该排气阀与定子腔相连。

3.根据权利要求2所述的镀膜机，其特征在于：所述的机械泵还包括有旋片及油分离器，所述的旋片贯穿设置于转子上，旋片的两端分别与定子腔的内壁接触，且旋片可沿转子径向来回滑动，该油分离器固定于排气口处，且位于泵体内部。

4.根据权利要求2或3所述的镀膜机，其特征在于：所述的泵体上还设置有加油口及放油口，且加油口处可拆卸连接有加油塞，放油口处设置有放油塞，且加油口设置于泵体的上部，放油口设置于泵体的下部。