[实用新型]一种镀膜机

说明书

技术领域

本实用新型涉及机械领域，尤其是一种镀膜机。

背景技术

镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

真空镀膜是将真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上，从而形成一层薄膜的技术。而现有的镀膜机包括真空室、用于使真空罩内部保持真空状态的真空系统及蒸发源，该蒸发源设置于真空室内部，该真空系统包括辅助泵、扩散泵及机械泵，该机械泵包括泵体、定子及转子，定子固定连接于泵体内，定子与泵体之间灌满油，定子内部设置有圆柱状定子腔，转子位于该定子腔内，转子可转动的连接于定子上，且转子在定子腔内部做同心转动，现有的机械泵在真空室内设置沿周向转动的工件架，该结构的工件架只能使工件在真空室内做周向运动，只能做水平方向上的转动，无法让工件达到空间上的旋转，使工件的镀膜效果较差，使结构布局不合理；且转子在定子腔内做同心运动，定子腔内的空气无法实现剧烈运动，造成气压不足。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种工件镀膜效果较好、结构布局合理且机械泵制造出的空气气压较大的镀膜机。

本实用新型的技术方案是这样实现的：一种镀膜机，包括真空室、用于使真空罩内部保持真空状态的真空系统及蒸发源，该蒸发源设置于真空室内部，该真空系统包括辅助泵、扩散泵及机械泵，该机械泵包括泵体、定子及转子，所述的定子固定连接于泵体内，定子与泵体之间灌满油，定子内部设置有圆柱状定子腔，转子位于该定子腔内，转子可转动的连接于定子上，所述的真空室内设置有周向旋转的基座，该基座上设置有多层行星式工件架，该行星式工件架包括底盘、若干片工件片及转动轴，所述的底盘的中心设置有第一通孔，转动轴从第一通孔穿过，底盘上设置有若干相互独立的第二通孔，且各第二通孔绕第一通孔周向分布，各工件片位于相应的第二通孔内，且各工件片可绕第二通孔旋转，该转动轴上套设有第一斜齿轮，各工件片上设置有与第一斜齿轮相啮合的第二斜齿轮。

通过采用上述技术方案，该结构的工件片在转动轴的驱动下，会沿竖直方向转动，从而带动被镀膜物也会竖直方向转动，在配合轴向转动的基座，从而实现了被镀膜物空间上的旋转，大大提高了镀膜效果，结构布局合理。

本实用新型进一步设置为：所述的转子在定子腔内做偏心转动，所述的泵体上设置有进气口及排气口，该进气口与定子腔导通，所述的定子上还设置有排气阀，该排气阀与定子腔相连。

通过采用上述技术方案，通过转子的偏心转动，有效的对定子腔内的空气进行剧烈撞击，可提高定子腔内空气的压力，使机械泵的作用发挥到最大。

本实用新型还进一步设置为：所述的机械泵还包括有旋片及油分离器，所述的旋片贯穿设置于转子上，旋片的两端分别与定子腔的内壁接触，且旋片可沿转子径向来回滑动，该油分离器固定于排气口处，且位于泵体内部。

通过采用上述技术方案，在转子上配合旋片将转子腔内的气体进行分隔，瞬间可局部的气体进行剧烈撞击，有效的提高了转子腔内的气压，是机械泵的机构更加合理。

本实用新型还进一步设置为：所述的泵体上还设置有加油口及放油口，且加油口处可拆卸连接有加油塞，放油口处设置有放油塞，且加油口设置于泵体的上部，放油口设置于泵体的下部。

通过采用上述技术方案，可便于对泵体内的油进行监控，便于操作者增添油量，且通过放油口还可对泵体内油的杂物进行清理，使机械泵在清洁的环境下工作。

附图说明

图1是本实用新型具体实施方式中真空室结构示意图；

图2是本实用新型具体实施方式中行星式工件架结构俯视示意图

图3为本实用新型具体实施方式中机械泵结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。