[实用新型]一种带有真空稳压装置的切割系统有效
申请号: | 201420295863.1 | 申请日: | 2014-06-05 |
公开(公告)号: | CN203973353U | 公开(公告)日: | 2014-12-03 |
发明(设计)人: | 刘思佳 | 申请(专利权)人: | 苏州凯锝微电子有限公司 |
主分类号: | B24B27/06 | 分类号: | B24B27/06;B24B41/00 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 带有 真空 稳压 装置 切割 系统 | ||
1.一种带有真空稳压装置的切割系统,包括切割机以及与切割机相连的抽真空设备,所述抽真空设备与切割机的一真空吸附件连通,其特征是,还包括连通所述切割机和抽真空设备的真空稳压装置,所述真空稳压装置包括中空且密封的箱状、筒状或管状的壳体,所述壳体上设有与所述真空吸附件连通的进气口,与所述抽真空设备连通的出气口,以及位于所述进气口和出气口下方的出水口,所述壳体具有一倾斜的侧壁,在所述进气口下方形成导流面。
2.根据权利要求1所述的一种带有真空稳压装置的切割系统,其特征是,所述切割机通过一第一真空管与壳体的进气口相连,第一真空管与进气口连接的部位轴线沿竖直方向。
3.根据权利要求2所述的一种带有真空稳压装置的切割系统,其特征是,所述第一真空管管口对着所述导流面或者伸入进气口抵在所述导流面上。
4.根据权利要求1所述的一种带有真空稳压装置的切割系统,其特征是,所述壳体还具有一倾斜的底部,所述导流面的底端延伸至所述底部的较高一端,所述出水口设置在所述底部较低的一端或紧靠较低一端设置。
5.根据权利要求1所述的一种带有真空稳压装置的切割系统,其特征是,所述壳体上设有一安装角度固定的进气管,所述切割机通过一第一真空管与进气管相连,进气管的管口作为所述进气口。
6.根据权利要求5所述的一种带有真空稳压装置的切割系统,其特征是,所述进气管轴线沿竖直方向。
7.根据权利要求5所述的一种带有真空稳压装置的切割系统,其特征是,所述进气管轴线平行于所述导流面倾斜方向,进气管伸入壳体且伸入部分紧靠导流面设置。
8.根据权利要求1所述的一种带有真空稳压装置的切割系统,其特征是,所述壳体呈三通管状,包括轴线分别水平的第一支管和第二支管,还包括轴线沿竖直方向的第三支管;所述第一支管的管口为进气口,所述切割机通过一第一真空管与第一支管相连,且第一真空管伸入第一支管至位于第三支管管口上方;所述第二支管的管口为出气口,所述抽真空设备通过一第二真空管与第二支管相连;所述第三支管的管口为出水口,第三支管的一侧壁形成所述导流面。
9.根据权利要求8所述的一种带有真空稳压装置的切割系统,其特征是,所述第三支管为上大下小的漏斗状。
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