[实用新型]显影装置

权利要求书

1.一种显影装置，其特征在于，所述显影装置至少包括： 

晶圆基台以及位于晶圆基台上方的清洗盘，所述清洗盘适于在所述晶圆基台上方上下移动； 

所述清洗盘包括朝向所述晶圆基台的第一表面，所述第一表面上均匀的分布有至少两个喷嘴和至少两个吸嘴，所述喷嘴适于朝所述晶圆基台上搁置的晶圆表面喷洒去离子水，所述吸嘴适于通过抽真空吸取所述晶圆基台上搁置的晶圆表面的液体； 

所述喷嘴的数量少于吸嘴。 

2.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于：所述喷嘴为直管状，直径为100μm～5mm。 

3.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于：所述吸嘴为直管状，直径为20μm～1mm。 

4.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于：所述喷嘴为10个～50个，所述喷嘴在所述第一表面均匀分布。 

5.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于：所述吸嘴为100个～500个，所述吸嘴在所述第一表面均匀分布。 

6.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于：所述清洗盘的盘心处还设置有一显影液喷嘴组件。 

7.根据权利要求6所述的显影装置，其特征在于：所述显影液喷嘴组件至少包括： 

喷管，所述喷管包括上喇叭口和下喇叭口，所述上喇叭口和下喇叭口的小口相对连接；流量调节阀，所述流量调节阀包括倒锥形部和压缩件，所述压缩件与所述倒锥形部的底部相连； 

压力容器，所述压力容器的上壁设置有上安装孔，所述压力容器的下壁设置有下安装孔；所述喷管设置于所述下安装孔中，所述压缩件贯穿于所述上安装孔中； 

所述倒锥形部从所述上喇叭口一端伸入所述喷管中，并适于被所述压缩件推动着在所述上喇叭口中上下移动，使所述上喇叭口和所述倒锥形部之间的空间大小发生变化。 

8.根据权利要求7所述的显影装置，其特征在于：所述压缩件包括螺纹套和螺钉，所述螺纹套固定设置与所述上喇叭口上方，所述螺钉的底部与所述倒锥形部的底部相对连接，所述 螺钉在所述螺纹套中旋转，以使得所述倒锥形部在所述上喇叭口中上下移动。 

9.根据权利要求8所述的显影装置，其特征在于：所述压缩件还包括密封圈，所述密封圈位于所述上安装孔上，且位于所述螺纹套上方或者下方。 

10.根据权利要求7所述的显影装置，其特征在于：所述显影装置还包括电磁驱动装置，所述电磁驱动装置适于驱动所述压缩件以推动所述倒锥形部在所述上喇叭口中上下移动，所述倒锥形部与所述压缩件绝缘。 

11.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于：所述晶圆基台为可旋转晶圆基台。