[实用新型]热喷涂旋转靶材冷却装置有效
申请号: | 201420334956.0 | 申请日: | 2014-06-20 |
公开(公告)号: | CN203947150U | 公开(公告)日: | 2014-11-19 |
发明(设计)人: | 胡习光;秦国强;张志祥;常金永 | 申请(专利权)人: | 江阴恩特莱特镀膜科技有限公司 |
主分类号: | C23C4/12 | 分类号: | C23C4/12 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 殷红梅 |
地址: | 214437 江苏省无锡市江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 喷涂 旋转 冷却 装置 | ||
1.一种热喷涂旋转靶材冷却装置,其特征在于:包括出水内套(1),所述出水内套(1)一侧端部连接有衬管(8),出水内套(1)的进水端连接有进水内套(6),所述进水内套(6)端部密封连接有装夹端头(7);进水外套(5)通过第一轴承(11)、第二轴承(12)转动支承于所述进水内套(6)圆周面上,所述进水外套(5)的圆周面上固定有进水管(4),所述进水内套(6)在转动过程中对应于进水管(4)底部一圈圆周面上设有若干进水口(15);所述出水内套(1)圆周面上通过第三轴承(13)、第四轴承(14)转动支承有出水外套(2),所述出水外套(2)圆周面上固定有出水管(3),出水内套(1)在转动过程中对应于出水管(3)底部一圈圆周面上设有若干出水口(16);所述衬管(8)外侧端部固定有端盖(17),空心轴(9)末端通过紧固螺母(19)固定于端盖(17)上,所述端盖(17)外侧还固定有密封端头(10)。
2.如权利要求1所述的热喷涂旋转靶材冷却装置,其特征在于:所述衬管(8)与出水内套(1)的连接处固定有一定位圆环(20)。
3.如权利要求1所述的热喷涂旋转靶材冷却装置,其特征在于:所述空心轴(9)靠近端盖(17)一侧表面设有出水孔(18)。
4.如权利要求1所述的热喷涂旋转靶材冷却装置,其特征在于:所述出水外套(2)与出水内套(1)两端连接处分别设有第五密封圈(25)、第四密封圈(24);在出水外套(2)与出水内套(1)之间对应于所述出水口(16)两侧分别设有第二密封圈(22)、第三密封圈(23)。
5.如权利要求1所述的热喷涂旋转靶材冷却装置,其特征在于:所述进水外套(5)与进水内套(6)相连接端部设有第一密封圈(21);所述进水外套(5)与进水内套(6)之间对应于所述进水口(15)的两侧分别设有一个O型圈(26)。
6.如权利要求1所述的热喷涂旋转靶材冷却装置,其特征在于:所述空心轴(9)进水端伸入进水内套(6)腔体中。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法,例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理,例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆