[实用新型]热喷涂旋转靶材冷却装置

说明书

技术领域

本实用新型属于冷却设备领域，涉及靶材生产过程中使用的辅助装置，具体地说是一种热喷涂旋转靶材冷却装置。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。

靶材在生产过程中有一道热喷涂工艺，在热喷涂工艺中需要对靶材进行冷却作业。目前，常用的冷却方式主要有自然冷却和通过冷却装置冷却两种，其中自然冷却冷却效率低下，而现有的冷却装置难以实现温度的均匀，导致成品率下降，同时现有装置还会导致高速靶材结合强度低，导致生产成本较高。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的不足，提供一种结构简单、巧妙、合理的热喷涂旋转靶材冷却装置，该冷却装置可以有效提高旋转靶材的结合强度，降低生产成本。

按照本实用新型提供的技术方案：一种热喷涂旋转靶材冷却装置，其特征在于：包括出水内套，所述出水内套一侧端部连接有衬管，出水内套的进水端连接有进水内套，所述进水内套端部密封连接有装夹端头；进水外套通过第一轴承、第二轴承转动支承于所述进水内套圆周面上，所述进水外套的圆周面上固定有进水管，所述进水内套在转动过程中对应于进水管底部一圈圆周面上设有若干进水口；所述出水内套圆周面上通过第三轴承、第四轴承转动支承有出水外套，所述出水外套圆周面上固定有出水管，出水内套在转动过程中对应于出水管底部一圈圆周面上设有若干出水口；所述衬管外侧端部固定有端盖，空心轴末端通过紧固螺母固定于端盖上，所述端盖外侧还固定有密封端头。

作为本实用新型的进一步改进，所述衬管与出水内套的连接处固定有一定位圆环。

作为本实用新型的进一步改进，所述空心轴靠近端盖一侧表面设有出水孔。

作为本实用新型的进一步改进，所述出水外套与出水内套两端连接处分别设有第五密封圈、第四密封圈；在出水外套与出水内套之间对应于所述出水口两侧分别设有第二密封圈、第三密封圈。

作为本实用新型的进一步改进，所述进水外套与进水内套相连接端部设有第一密封圈；所述进水外套与进水内套之间对应于所述进水口的两侧分别设有一个O型圈。

作为本实用新型的进一步改进，所述空心轴进水端伸入进水内套腔体中。

本实用新型与现有技术相比，优点在于：本实用新型产品结构简单、构思巧妙合理，可以实现在冷却装置的同一端进水和出水，有效减轻旋转靶材在旋转中承受的重量，并且在生产过程中可以达到均匀的温度，不会因温度而造成成品率下降。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

如图1所示，包括出水内套1、出水外套2、出水管3、进水管4、进水外套5、进水内套6、装夹端头7、衬管8、空心轴9、密封端头10、第一轴承11、第二轴承12、第三轴承13、第四轴承14、进水口15、出水口16、端盖17、出水孔18、紧固螺母19、定位圆环20、第一密封圈21、第二密封圈22、第三密封圈23、第四密封圈24、第五密封圈25、O型圈26、回流口27等。

如图1所示，本实用新型一种热喷涂旋转靶材冷却装置，包括出水内套1，所述出水内套1一侧端部连接有衬管8，出水内套1的进水端连接有进水内套6，所述进水内套6端部密封连接有装夹端头7；进水外套5通过第一轴承11、第二轴承12转动支承于所述进水内套6圆周面上，所述进水外套5的圆周面上固定有进水管4，所述进水内套6在转动过程中对应于进水管4底部一圈圆周面上设有若干进水口15；所述出水内套1圆周面上通过第三轴承13、第四轴承14转动支承有出水外套2，所述出水外套2圆周面上固定有出水管3，出水内套1在转动过程中对应于出水管3底部一圈圆周面上设有若干出水口16；所述衬管8外侧端部固定有端盖17，空心轴9末端通过紧固螺母19固定于端盖17上，所述端盖17外侧还固定有密封端头10。

所述衬管8与出水内套1的连接处固定有一定位圆环20。

所述空心轴9靠近端盖17一侧表面设有出水孔18。

所述出水外套2与出水内套1两端连接处分别设有第五密封圈25、第四密封圈24；在出水外套2与出水内套1之间对应于所述出水口16两侧分别设有第二密封圈22、第三密封圈23。

所述进水外套5与进水内套6相连接端部设有第一密封圈21；所述进水外套5与进水内套6之间对应于所述进水口15的两侧分别设有一个O型圈26。

所述空心轴9进水端伸入进水内套6腔体中。

本实用新型新型产品的工作过程如下：将进水管4连接于水管上，由进水管4流入的水经过进水口15流入进水内套6中，流入的水再流进空心轴9中，并从空心轴9端部的出水孔18流入衬管8中，再经由回流口27流入出水内套1中，并最终从出水内套1表面开设的出水口16流进出水管3，从出水管3中流出。