[实用新型]高纯平面铝钕靶的制作装置

权利要求书

1.一种高纯平面铝钕靶的制作装置，包括真空炉体外壳（9），在真空炉体外壳（9）的内部设置炉体（2），炉体（2）上部设置炉盖（1）；其特征是：所述炉体（2）包括炉胆（5）和设置在炉胆（5）外表面的保温层（4），在炉胆（5）的内壁设置电炉丝（12），在炉胆（5）的底部设置冷却底座（16），冷却底座（16）的上放置模具，冷却底座（16）的上表面呈锯齿状，在冷却底座（16）上设置冷却水通道，冷却水通道两端分别与冷却水进水管（6）和冷却水出水管（13）连接；在所述炉盖（1）上设置通气孔（7），在真空炉体外壳（9）的顶部设置通气管（15），在真空炉体外壳（9）的中部设置抽气管（11）。

2.如权利要求1所述的高纯平面铝钕靶的制作装置，其特征是：所述模具呈柱体状，模具的内腔为放置铝钕合金块的空腔，模具的底表面呈与冷却底座（16）上表面相配合的锯齿状。

3.如权利要求1所述的高纯平面铝钕靶的制作装置，其特征是：在所述炉胆（5）内壁设置热电偶（10）。

4.如权利要求1所述的高纯平面铝钕靶的制作装置，其特征是：在所述保温层（4）上设置电极（3），电极（3）与电炉丝（12）连接。

5.如权利要求1所述的高纯平面铝钕靶的制作装置，其特征是：在所述真空炉体外壳（9）的上部设置进水管（8），在真空炉体外壳（9）的下部设置出水管（14）。