[实用新型]一种应用在管式PECVD中的特气管有效
| 申请号： | 201420360484.6 | 申请日： | 2014-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN203960328U | 公开（公告）日： | 2014-11-26 |
| 发明（设计）人： | 沈少杰 | 申请（专利权）人： | 苏州矽美仕绿色新能源有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 韩国胜;张海英 |
| 地址： | 215400 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 应用 pecvd 中的 气管 | ||
1.一种应用在管式PECVD中的特气管，包括具有进气口(4)和出气口(5)的管体，其特征在于：所述管体包括至少一段呈螺旋弹簧状弯曲结构的螺旋管(2)和两段第一直管(3)，所述进气口(4)通过其中一段第一直管(3)与螺旋管(2)连接，所述出气口(5)通过另一段第一直管(3)与螺旋管(2)连接，所述第一直管(3)与螺旋管(2)一体成型，所述螺旋管(2)具有至少一个螺旋圈体。
2.根据权利要求1所述的应用在管式PECVD中的特气管，其特征在于：所述螺旋管(2)为一段且具有至少两个螺旋圈体，所述螺旋管(2)的螺旋圈体的直径向着出气口(5)的方向逐渐减小。
3.根据权利要求1所述的应用在管式PECVD中的特气管，其特征在于：所述螺旋管(2)为两段，两段所述螺旋管(2)间连接有第二直管(3)，每段所述螺旋管(2)具有至少两个螺旋圈体且每段螺旋管(2)的螺旋圈体的直径相同，靠近进气口(4)的螺旋管的螺旋圈体的直径d1大于靠近出气口(5)的螺旋管的螺旋圈体的直径d2。
4.根据权利要求1所述的应用在管式PECVD中的特气管，其特征在于：所述螺旋管(2)的中心轴线与第一直管(3)的中心轴线平行。
5.根据权利要求1至3任一项所述的应用在管式PECVD中的特气管，其特征在于：所述螺旋管(2)的螺旋圈体的个数为3～5圈。
6.根据权利要求5所述的应用在管式PECVD中的特气管，其特征在于：所述螺旋管(2)的相邻螺旋圈体间的间距h为6～9mm。
7.根据权利要求1所述的应用在管式PECVD中的特气管，其特征在于：所述管体的进气口(4)和出气口(5)分别配有接头(1)。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
