[实用新型]一种应用在管式PECVD中的特气管

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种特气管，尤其涉及一种应用在管式PECVD中的特气管，属于PECVD镀膜技术领域。

背景技术

特气管是PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)镀膜上面的重要气体连接管，主要用于通N2、氨气、硅烷等。如图1所示，一段波纹管2′和位于波纹管2′两端的接头1′构成了现有的特气管，管式PECVD在生产运行过程中，会使波纹管2′产生振动，长时间工作下，波纹管2′会因振动而断裂或者因磨损而漏气。另外，现有的波纹管2′两端还分别连有一段直管3′，直管3′与波纹管2′分别加工成型，增加了加工工艺，工艺较为繁琐；而且相对于直管3′，波纹管2′易发生形变且质软，从而导致波纹管2′与直管3′的连接处在振动的作用下更易断裂而漏气。

总之，现有的特气管极易破碎，导致使用周期短，需要频繁更换特气管，但是特气管又较为昂贵，无形中增加了生产成本。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对技术现状提供一种使用寿命长、结构合理的应用在管式PECVD中的特气管。

本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种应用在管式PECVD中的特气管，包括具有进气口和出气口的管体，所述管体包括至少一段呈螺旋弹簧状弯曲结构的螺旋管和两段第一直管，所述进气口通过其中一段第一直管与螺旋管连接，所述出气口通过另一段第一直管与螺旋管连接，所述第一直管与螺旋管一体成型，所述螺旋管具有至少一个螺旋圈体。

本技术方案中的螺旋管利用类似于“螺旋弹簧”减震原理而可以起到缓冲作用，可以避免管式PECVD在生产运行过程中对管体的损坏。

优选的，所述螺旋管为一段且具有至少两个螺旋圈体，所述螺旋管的螺旋圈体的直径向着出气口的方向逐渐减小。

优选的，所述螺旋管为两段，两段所述螺旋管间连接有第二直管，每段所述螺旋管具有至少两个螺旋圈体且每段螺旋管的螺旋圈体的直径相同，靠近进气口的螺旋管的螺旋圈体的直径d1大于靠近出气口的螺旋管的螺旋圈体的直径d2。

优选的，所述螺旋管的中心轴线与第一直管的中心轴线平行。

优选的，所述螺旋管的螺旋圈体的个数为3～5圈。

优选的，所述螺旋管的相邻螺旋圈体间的间距h为6～9mm。

作为改进，所述管体的进气口和出气口分别配有接头。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：本特气管在两段直管之间设有一段螺旋管，利用类似于“螺旋弹簧”减震原理，因螺旋管可以起到缓冲作用，可以很大程度上减小管式PECVD工作时对特气管的影响，从而避免了特气管因振动而破损漏气的状况，延长了使用寿命，节约了生产成本。另外，本特气管结构简单、合理，而且直管与螺旋管一体成型，加工工艺简单，可达到一次安装长期使用的目的，从而降低了维修成本。

附图说明

图1为现有技术特气管的结构示意图；

图2为实施例1特气管的结构示意图；

图3为实施例2特气管的结构示意图；

图4为实施例3特气管的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图实施例对本实用新型作进一步详细描述。

实施例1

本实施例的应用在管式PECVD中的特气管，如图2所示，包括具有进气口4和出气口5的管体，进气口4和出气口5还分别配有接头1。管体包括呈螺旋弹簧状弯曲结构的螺旋管2和两段第一直管3，进气口4通过其中一段第一直管3与螺旋管2连接，出气口5通过另一段第一直管3与螺旋管2连接，第一直管3与螺旋管2一体成型，即螺旋管2是由第一直管3直接螺旋成型。螺旋管2的中心轴线与第一直管3的中心轴线平行；本实施例的螺旋管2只有一段并且螺旋管2具有3个螺旋圈体，而且每个螺旋圈体的直径相同，螺旋管2的螺旋圈体的个数为3～5圈，本实施例优选为4圈，并且螺旋管2的相邻螺旋圈体间的间距h为6～9mm，本实施例优选为8mm。

实施例2

本实施例与实施例1不同之处在于：如图3所示，螺旋管2为一段且具有一个以上的螺旋圈体，螺旋管2的螺旋圈体的直径向着出气口5的方向逐渐减小。

实施例3