[实用新型]一种均匀布光的曝光机有效
| 申请号： | 201420370583.2 | 申请日： | 2014-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN203941382U | 公开（公告）日： | 2014-11-12 |
| 发明（设计）人： | 王满根 | 申请（专利权）人： | 宁波东盛集成电路元件有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 杜军 |
| 地址： | 315806 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 均匀 曝光 | ||
【权利要求书】：
1. 一种均匀布光的曝光机，用于金属片材曝光，其特征在于，包括：
曝光平台，用以放置待曝光金属片材；
复数个发光部件，通过支撑结构均布于所述曝光平台上方；
复数个光强传感器，均布于所述曝光平台上；
控制器，分别连接复数个光强传感器及复数个发光部件，用以根据所述光强传感器的感应结果分别独立的控制复数个发光部件的发光强度。
2.如权利要求1所述均匀布光的曝光机，其特征在于：所述光强传感器的布设于待曝光金属片材放置范围内，所述金属片材上预制通孔使所述光强传感器的传感部露出。
3.如权利要求1所述均匀布光的曝光机，其特征在于：还包括传送装置，所述传送装置连接于所述曝光平台上，所述待曝光金属片材设置于所述传送装置上。
4.如权利要求3所述均匀布光的曝光机，其特征在于：所述传送装置包括复数个被连续传送的框架，每片待曝光金属片材设置于所述框架内。
5.如权利要求4所述均匀布光的曝光机，其特征在于：还包括一箱体，所述曝光平台及所述发光部件设置于所述箱体内，所述传送装置通过所述箱体上的一第一开口由所述箱体外将所述框架传送入所述箱体内，并通过所述箱体上的一第二开口由所述箱体内传送出所述箱体外。
6.如权利要求5所述均匀布光的曝光机，其特征在于：所述第一开口及所述第二开口处分别设置有可升降的阻隔板。
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