[实用新型]一种晶圆机械臂有效
| 申请号： | 201420379241.7 | 申请日： | 2014-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN204183569U | 公开（公告）日： | 2015-03-04 |
| 发明（设计）人： | 林清华;黄金顺 | 申请（专利权）人： | 无锡易比达半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J18/00 | 分类号： | B25J18/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 邵骅 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 机械 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶圆机械臂，用于承托吸附晶圆，其特征在于：所述机械臂包括内部具有真空腔体的铝合金平板，所述真空腔体开口于所述铝合金平板上表面；所述铝合金平板下表面通过金属箔片密封其真空腔体。
2.根据权利要求1所述的晶圆机械臂，其特征在于：所述金属箔片为铝箔纸、铝箔胶带、耐高温锡箔纸、BGA隔热胶带中的一种。
3.根据权利要求1或2所述的晶圆机械臂，其特征在于：所述铝合金平板厚度为2.5mm。
4.根据权利要求1或2所述的晶圆机械臂，其特征在于：所述铝合金平板上表面的真空腔体开口为两个，设置在机械臂的前端。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡易比达半导体科技有限公司，未经无锡易比达半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201420379241.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：换流站阀厅智能巡检机器人
- 下一篇：一种物联网家庭娱乐安防智能机器人
