[实用新型]一种晶圆机械臂

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于衬托和输送晶圆的晶圆机械臂。

背景技术

    晶圆机械臂是用于将晶圆从料盒运输到晶圆加工的工具，其现有的机械臂的结构如图1所示，是通过两片铝合金平板通过激光无缝焊接技术组合成一体，上部的铝合金平板上具有一真空腔体，腔体开口于该平板的上表面，通过下部的铝合金平板密封该真空腔。由于机械臂由两片铝合金平板结合而成，为保证机械臂的整体厚度，两片铝合金平板要求厚度较小，常见的铝合金平板厚度为2mm，这给铝合金平板的加工和焊接带来一定的困难，而且采用激光无缝焊接技术成本较高且生产效率较低。

发明内容

本实用新型目的在于提供一种加工方便，厚度较小的晶圆机械臂。

本实用新型为实现上述目的，采用如下技术方案：

一种晶圆机械臂，用于承托吸附晶圆，其特征在于：所述机械臂包括内部具有真空腔体的铝合金平板，所述真空腔体开口于所述铝合金平板上表面；所述铝合金平板下表面通过金属箔片密封其真空腔体。

优选的：所述金属箔片为铝箔纸、铝箔胶带、耐高温锡箔纸、BGA隔热胶带中的一种。

所述铝合金平板厚度为2.5mm。

其进一步特征在于：所述铝合金平板上表面的真空腔体开口为两个，设置在机械臂的前端。

本实用新型具有下述优点：

1、采用金属箔片密封真空腔体，只用了一片铝合金平板，节约了材料用量。

2、单片铝合金平板金属箔片密封真空腔体，不需要焊接，减少了因焊接而产生的变形，一体成型的机械臂平整度更高。

3、采用单片铝合金平板后，单片铝合金平板厚度可以适当增加，而不会影响机械臂的整体厚度。加厚的单片铝合金平板也便于加工。

4、采用单片铝合金平板金属箔片密封真空腔体，减少了材料用量，省略了焊接程序，总体的制作成本降低将近70%。

附图说明

图 1 为现有技术机械臂结构示意图。

图 2 为本实用新型结构示意图。

具体实施方式

如图2所示一种晶圆机械臂，用于承托吸附晶圆3，所述机械臂包括内部具有真空腔体2的厚度为2.5mm铝合金平板1，所述真空腔体2开口于所述铝合金平板1上表面；所述铝合金平板1下表面通过金属箔片4密封其真空腔体2。

所述金属箔片可以为铝箔纸、铝箔胶带、耐高温锡箔纸、BGA隔热胶带中的一种。

所述铝合金平板1上表面的真空腔体2开口为两个，设置在机械臂的前端。