[实用新型]一种靶材组件

权利要求书

1.一种靶材组件，其特征在于：包括靶材、导磁片、背板及承载板，所述靶材与承载板层叠设置于所述背板的两侧，所述承载板设有承载板顶面，所述导磁片设有导磁片顶面，所述导磁片的导磁片顶面与所述承载板的承载板顶面平齐，且所述导磁片顶面贴紧所述背板。 

2.如权利要求1所述的靶材组件，其特征在于：所述承载板采用非导磁材料制成，所述导磁片采用高导磁性材料制成。 

3.如权利要求1所述的靶材组件，其特征在于：所述承载板采用非导磁不锈钢制成，所述导磁片采用稀土材料制成。 

4.如权利要求1至3中任一项所述的靶材组件，其特征在于：所述靶材为矩形平面靶材，所述矩形平面靶材包括设置于中部的平行区域及设置于平行区域端部且临近所述靶材端部的弧形区域，所述导磁片对应所述矩形平面靶材的弧形区域设置。 

5.如权利要求1至3中任一项所述的靶材组件，其特征在于：所述背板采用无氧铜背板或者钼背板。 

6.如权利要求1至3中任一项所述的靶材组件，其特征在于：所述靶材与背板之间设有连接层，所述连接层用于将所述靶材与背板相互连接。 

7.如权利要求6所述的靶材组件，其特征在于：所述连接层铟金属粘结层或银金属粘结层。