[实用新型]一种新型扩散炉

权利要求书

1.一种新型扩散炉，其特征在于：包括炉门、及与炉门相连的炉体，所述炉门上设有与炉体内腔相通的进气装置，所述炉体内设有用于放置硅片的石英舟，所述石英舟上缠绕有螺旋管，所述螺旋管上设有送气孔，所述送气孔设在靠近硅片侧，所述炉体内还设有排气管，所述排气管上设有若个排气孔，排气孔为朝向石英舟上的硅片，伸入炉体内腔的排气管端为封闭的，排气管的另一端穿出炉体侧壁上的出气孔，且该端的排气管与尾气管道相连，所述进气装置包括储气箱体、进气管道，所述储气箱体的下端设有3个通向大气的进气管道，进气管道上设有若干个孔，所述储气箱体上端设有出口，该出口处与波纹管相连，所述波纹管另一端与炉体内的螺旋管相连，出气孔处炉体的侧壁上设有设有排风管，所述排风管上至少开设有一个进风口，所述排风管上的出气口与抽风机相连。

2.根据权利要求1所述的一种新型扩散炉，其特征在于：排气管上均匀设有8个排气孔。

3.根据权利要求2所述的一种新型扩散炉，其特征在于：所述尾气管道与气体过滤装置相连。

4.根据权利要求3所述的一种新型扩散炉，其特征在于：所述排气管与尾气管道连接处设有密封圈，所述密封圈的两端分别与排气管、尾气管道相连，所述密封圈的内外表面为柔韧性好耐高温的有机硅胶。

5.根据权利要求4所述的一种新型扩散炉，其特征在于：所述排风管上开设有2个进风口。

6.根据权利要求5所述的一种新型扩散炉，其特征在于：所述位于排风管上的进风口处设有推盖。