[实用新型]一种新型扩散炉

说明书

技术领域

本实用新型属于太阳能光伏电池制造技术领域，尤其是涉及一种新型扩散炉。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导限位等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。扩散工艺的主要用途是在高温条件下对半导体晶圆进行掺杂，即将元素磷、硼扩散入硅片，从而改变半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的点特性区域。

目前的扩散炉存在以下缺点：首先随着方阻的提升，扩散方阻的均匀性逐渐恶化，会导致电池质量下降，产生良率异常等问题；工作时，扩散炉内炉口与炉尾的方块电阻存在差异，减少了方块电阻的均匀性，降低了电池电性能(；扩散炉在装载硅片时，会有一些粉尘、颗粒附在硅片表面，随之送入到炉口内部高温区域后，会扩散到硅片中从而影响其质量。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种结构简单、操作方便、去除硅片表面上的灰尘和提高方块方阻的均匀性的新型扩散炉，尤其适合生产太阳能电池生产线中。

本实用新型的技术方案是：一种新型扩散炉，包括炉门、及与炉门相连的炉体，所述炉门上设有与炉体内腔相通的进气装置，所述炉体内设有用于放置硅片的石英舟，所述石英舟上缠绕有螺旋管，所述螺旋管上设有送气孔，所述送气孔设在靠近硅片侧，所述炉体内还设有排气管，所述排气管上设有若个排气孔，排气孔为朝向石英舟上的硅片，伸入炉体内腔的排气管端为封闭的，排气管的另一端穿出炉体侧壁上的出气孔，且该端的排气管与尾气管道相连，所述进气装置包括储气箱体、进气管道，所述储气箱体的下端设有3个通向大气的进气管道，进气管道上设有若干个孔，所述储气箱体上端设有出口，该出口处与波纹管相连，所述波纹管另一端与炉体内的螺旋管相连，出气孔处炉体的侧壁上设有设有排风管，所述排风管上至少开设有一个进风口，所述排风管上的出气口与抽风机相连。

进一步，排气管上均匀设有8个排气孔。

进一步，所述尾气管道与气体过滤装置相连。

进一步，所述排气管与尾气管道连接处设有密封圈，所述密封圈的两端分别与排气管、尾气管道相连，所述密封圈的内外表面为柔韧性好耐高温的有机硅胶。

进一步，所述排风管上开设有2个进风口。

进一步，所述位于排风管上的进风口处设有推盖。

本实用新型具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，设置进气装置，在进气之前，将气体充分混合，保证了反应的均匀性，更好的改善了扩散方阻的均匀性；炉体内排气管上设有排气孔，有效降低了扩散炉内炉口与炉尾的方块电阻差异，提高了方块电阻的均匀性；石英舟上盘绕有带有送气孔的螺旋管，可以全方位的吹扫硅片上的粉尘、颗粒，可以方便的避免了粉尘、颗粒在高温时扩散到硅片中。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型的螺旋管示意图。

图3是本实用新型的出气孔处的结构示意图。

图中：

1、炉门         2、炉体         3、硅片

4、石英舟       5、螺旋管       6、送气孔

7、排气管       8、排气孔       9、出气孔

10、尾气管道    11、储气箱体    12、进气管道

13、通孔        14、出口        15、波纹管

16、排风管      17、进风口      18、推盖

19、密封圈

具体实施方式

如图1-3所示，