[实用新型]智能数字温控过热保护溅镀机有效
| 申请号： | 201420422787.6 | 申请日： | 2014-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN204111857U | 公开（公告）日： | 2015-01-21 |
| 发明（设计）人： | 黄端权 | 申请（专利权）人： | 黄端权 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 广州科粤专利商标代理有限公司 44001 | 代理人： | 张新球 |
| 地址： | 542800 广西壮族自治区贺*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 智能 数字 温控 过热 保护 溅镀机 | ||
【权利要求书】：
1.一种智能数字温控过热保护溅镀机，包括溅镀主机、水冷却系统，其特征在于：其水冷却系统设有一个由智能数字温控器与热电偶连接构成的智能数字温控过热保护装置；所述热电偶置于冷却系统的阴极罩内。
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