[实用新型]智能数字温控过热保护溅镀机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种过热保护技术，特别是应用在溅镀机上的过热保护技术。

背景技术

目前光盘生产设备对溅镀发热监控防护采用单一的不锈钢膜片水流量感应技术，由于水含有较多钙镁离子，感应器长期在水中容易产生水垢，影响监控灵敏度，严重时会造成设备报警失灵，高温会造成零部件损坏，影响正常生产，增加生产成本。

经中国公开专利检索，没发现与本专利申请相同的方案。

发明内容

要解决的技术问题：为了克服现有的溅镀过热保护技术不能长时间在水质较硬的环境下工作的不足，本发明提供一种新型过热保护技术，能及时准确防止溅镀机过热。

本实用新型的智能数字温控过热保护溅镀机，包括溅镀主机、水冷却系统，其特征在于：其水冷却系统设有一个由智能数字温控器与热电偶连接构成的智能数字温控过热保护装置；所述热电偶置于冷却系统的阴极罩内。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：本发明一种溅镀过热保护技术，其特征是由智能数字温控器和热电偶组成的检测系统，当无冷却水流入时，阴极罩内部温度会随之升高，安装在溅镀机阴极罩内的PT100(热电偶)检测阴极罩的工作温度升高，并将信号传递给外部的智能数字温控器，当温度超过设定值时，智能数字温控器发出警报并发出指令使用溅镀机停止工作，这样可以稳定安全地维护设备正常的生产工作。

本发明与现有技术相比其有益效果是：具有结构简捷、造价低，可靠性高等优点。本发明能准确检测溅镀机的阴极罩内部工作温度，不会受现有技术因为水垢问题影响检测，而且能防止因为其他因素造成的溅镀机内部过热，有效防止溅镀机内部温度过高损坏零部件。

附图说明

图1---智能数字温控过热保护溅镀机示意图

图中：溅镀主机(1)，水冷却系统阴极罩(2)，进水管(3)，出水管(4)，热电偶(10)，智能数字温控器(11)。

具体实施方式:

下面结合附图对本实用新型作进一步说明，但本发明的实施方式不限于此。

如图所示：图中：溅镀主机(1)，水冷却系统阴极罩(2)，进水管(3)，出水管(4)，热电偶(10)，智能数字温控器(11)；其所有零部件均可购买或采用现有技术制造获得；整机可采用现有技术组装完成。

参阅图1所示；本实用新型一种溅镀过热保护技术实施例，包括热电偶10和智能数字温控器11。

本实施例中，在智能数字温控器11上设置工作温度50摄氏度，冷却水正常工作时，阴极罩2在25-35摄氏度之间工作。当冷却水流量出现不足，冷却效果下降，热电偶10检测到阴极罩2内部温度上升到达50摄氏度时，智能数字温控器11发出指令使设备停止溅镀机1的工作，同时发出警报。