[实用新型]悬臂式探针卡有效
申请号: | 201420423514.3 | 申请日: | 2014-07-29 |
公开(公告)号: | CN204008743U | 公开(公告)日: | 2014-12-10 |
发明(设计)人: | 张克堂;林光启;赵瑞豪;胡启誉;陈礼清 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 悬臂 探针 | ||
1.一种悬臂式探针卡,其特征在于,包括:PCB板,探针卡板和连接器,所述探针卡板通过所述连接器可拆卸式连接于所述PCB板;其中,所述PCB板上设置有一阶梯孔,所述阶梯孔的阶梯上设置有第一弹簧探针接触点,所述探针卡板上设置有第二弹簧探针接触点,所述连接器包括多根弹簧探针,所述第一弹簧探针接触点和所述第二弹簧探针接触点通过所述多根弹簧探针连接。
2.如权利要求1所述的悬臂式探针卡,其特征在于,还包括设置于所述阶梯孔的阶梯上的盲孔,所述盲孔内设置有金属插塞,所述金属插塞与所述第一弹簧探针接触点连接。
3.如权利要求2所述的悬臂式探针卡,其特征在于,所述连接器还包括底座,所述弹簧探针穿过所述底座,所述弹簧探针的长度大于所述底座的厚度。
4.如权利要求3所述的悬臂式探针卡,其特征在于,所述底座固定于所述阶梯孔的阶梯上。
5.如权利要求2所述的悬臂式探针卡,其特征在于,所述连接器还包括多个金属连接套,每根弹簧探针插入一个金属连接套中。
6.如权利要求5所述的悬臂式探针卡,其特征在于,所述阶梯孔的阶梯上设置有弹簧探针孔,所述弹簧探针孔的直径与所述金属连接套的直径相等。
7.如权利要求6所述的悬臂式探针卡,其特征在于,所述第一弹簧探针接触点位于所述弹簧探针孔的底部,与弹簧探针直接接触。
8.如权利要求1所述的悬臂式探针卡,其特征在于,所述PCB板上设有多个定位销,所述多个定位销的直径各不相同。
9.如权利要求8所述的悬臂式探针卡,其特征在于,所述探针卡板上设置有定位销孔,所述定位销孔的直径与所述定位销的直径相等,所述定位销孔的位置与所述定位销的位置匹配。
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