[实用新型]悬臂式探针卡

说明书

技术领域

本实用新型涉及集成电路设备技术领域，尤其涉及一种悬臂式探针卡。

背景技术

集成电路生产时的测试通常采用探针卡对器件进行测试，探针卡是自动测试仪与被测器件之间的桥梁，通过探针卡实现测试仪和被测器件的连接。随着制造工艺的不断提高，对探针卡的种类和性能要求也越来越高，但是传统的悬臂式探针卡仍然发挥着重要的作用。

当前使用的悬臂式探针卡从外形来分，可以分为圆形悬臂式探针卡和方形悬臂式探针卡。如图1所示，圆形悬臂式探针卡包括圆形PCB板101，所述圆形PCB板101上设置有探针出针区域103，圆形悬臂式探针卡一般大量使用在量产阶段的晶圆测试上，根据测试机的硬件配置，可以将多个被测器件需要的探针集成在一块探针卡上，从而进行多个被测器件的产品测试，提高了测试的效率；此外，该种类型的探针卡，出针数目较多，可以使用在管脚数目较多的产品上，因此其制作成本也相应较高。如图2所示，方形悬臂式探针卡包括方形PCB板102，所述方形PCB板102上设置有探针出针区域103，方形悬臂式探针卡在工程测试的环境下应用较多，需通过导线来连接测试机，其结构简单，使用方便，易于使用万用表，示波器，信号发生器等外设设备来调试测试程序，分析产品的异常。

当前使用的悬臂式探针卡，为设置有探针区域的PCB板，有以下局限性：

1、不能跨平台使用，即测试仪对探针卡需求不同，不同外形的探针卡不能共用，增加探针卡的制作成本；

2、体积较大，不易存放，不易管理，需要开辟专门的存储空间与存储环境，需要专人来管理探针卡，增加人力、物力成本的浪费；

3、如果某个部件损坏而不能修复的情况，整块探针卡需进行报废处理，造成该部件之外的其余部件的浪费；

4、在工程测试的环境中，探针卡与测试机的测试头之间需要通过导线来连通，且不同的产品需要连接不同数量的线材，探针卡与探针卡之间不能共用线材，增加线材的损耗，同时也不利于探针卡的维护保养。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种悬臂式探针卡，可跨平台使用，便于存放，节约成本。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种悬臂式探针卡，包括：PCB板，探针卡板和连接器，所述探针卡板通过所述连接器可拆卸式连接于所述PCB板，所述PCB板上设置有一阶梯孔，所述阶梯孔内壁的阶梯上设置有第一弹簧探针接触点，所述探针卡板上设置有第二弹簧探针接触点，所述连接器包括多根弹簧探针，所述第一弹簧探针接触点和所述第二弹簧探针接触点通过所述多根弹簧探针连接。

优选的，在上述悬臂式探针卡中，还包括设置于所述阶梯上的盲孔，所述盲孔内设置有金属插塞，所述金属插塞与所述第一弹簧探针接触点连接。

优选的，在上述悬臂式探针卡中，所述连接器还包括底座，所述弹簧探针穿过所述底座，所述弹簧探针的长度大于所述底座的厚度。

优选的，在上述悬臂式探针卡中，所述第一弹簧探针接触点设置于所述阶梯上，所述底座固定于所述阶梯孔的阶梯上。

优选的，在上述悬臂式探针卡中，所述第一弹簧探针接触点通过盲孔与PCB板连接。

优选的，在上述悬臂式探针卡中，所述连接器还包括多个金属连接套，每根弹簧探针插入一个金属连接套中。

优选的，在上述悬臂式探针卡中，所述阶梯孔的阶梯上设置有弹簧探针孔，所述弹簧探针孔的直径与所述金属连接套的直径相等。

优选的，在上述悬臂式探针卡中，所述第一弹簧探针接触点位于所述弹簧探针孔的底部，与弹簧探针直接接触，并通过盲孔与PCB板连接。

优选的，在上述悬臂式探针卡中，所述PCB板上设有多个定位销，所述多个定位销直径各不相同。

优选的，在上述悬臂式探针卡中，所述探针卡板上设置有定位销孔，所述定位销孔的阶梯孔直径与所述定位销的直径相等，所述定位销孔的位置与所述定位销的位置匹配。

上述技术方案具有如下优点或有益效果：

本实用新型提供的悬臂式探针卡中，PCB板与探针卡板相互独立，可拆卸独立更换，不影响其他部分的正常使用。独立后的探针卡板可跨平台使用，既可以在为圆形悬臂式探针卡上使用，也可以在方形悬臂式探针卡使用。独立后的PCB板，可以供不同产品的探针卡板使用，共用PCB板后，工程测试时只需根据测试线材与测试机通道的对应情况，预先在探针卡板上定义好探针出针的位置，测试线材即可共用，减少了测试线材因不同产品的不同需求的使用数量，节约了成本。

附图说明

图1为当前使用的圆形悬臂式探针卡的俯视图；