[实用新型]一种多晶硅还原炉内壁电镀过程中的仿形阳极及固定装置

权利要求书

1.一种多晶硅还原炉内壁电镀过程中的仿形阳极及固定装置，其特征在于：包括仿形阳极装置和十字形的固定装置；所述仿形阳极装置包括仿形阳极内胆、内胆顶部固定螺栓（1）、内胆底部固定螺栓（2）；所述仿形阳极内胆与还原炉内壁形状相同，且与还原炉同轴嵌套，通过内胆顶部固定螺栓（1）、内胆底部固定螺栓（2）固定到还原炉内壁上，内胆顶部固定螺栓（1）有四个，分别位于还原炉切面的十字形方向上，仿形阳极内胆与还原炉之间装有溶液（8）； 

所述十字形固定装置包括侧面固定螺栓（3）、十字支架（4）、固定三角铁（5）以及顶部固定轴（6）；

所述十字形固定装置上的十字支架（4）用于夹住还原炉的底部，并通过四个侧面固定螺栓（3）紧固，顶部固定轴（6）穿过十字支架（4）的中心并插入还原炉底端一部分，所述仿形阳极内胆可以为不溶性阳极，采用钛板制成。

2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉内壁电镀过程中的仿形阳极及固定装置，其特征在于：所述顶部固定轴（6）的轴心和内胆底部固定螺栓（2）在一条直线上。

3.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉内壁电镀过程中的仿形阳极及固定装置，其特征在于：所述顶部固定轴（6）与十字支架（4）通过固定三角铁（5）焊接成为一体。

4.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉内壁电镀过程中的仿形阳极及固定装置，其特征在于：所述十字支架（4）上可以套有绳索用于连接还原炉的起吊装置。

5.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉内壁电镀过程中的仿形阳极及固定装置，其特征在于：所述十字支架（4）采用高强度结构钢。

6.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉内壁电镀过程中的仿形阳极及固定装置，其特征在于：所述仿形阳极内胆可以为可溶性阳极，采用所需镀在还原炉内壁的金属制成。

7.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉内壁电镀过程中的仿形阳极及固定装置，其特征在于：所述装有仿形阳极装置和十字形的固定装置的还原炉的底部放置在与还原炉底部形状相同的底座（7）中。