[实用新型]一种多晶硅还原炉内壁电镀过程中的仿形阳极及固定装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种多晶硅还原炉内壁电镀过程中的仿形阳极及固定装置，属于多晶硅生产工业中的辅助设备技术领域。

背景技术

目前市面上的还原炉内壁表面涂覆采用真空离子镀，需要将还原炉远距离运输到离子镀厂家，用专业离子镀设备来施镀。而采用电镀法进行镀覆所需设备简单，可以现场实施。但由于高大的还原炉用常规电镀方法不好实施，可以把还原炉作为容器，将镀液直接加入还原炉进行镀覆，这需要配制大量的镀液，成本高，造成浪费大量的资源等问题。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种多晶硅还原炉内壁电镀过程中的仿形阳极及固定装置，用于解决现有的还原炉内壁采用真空离子镀时需要长距离的运输，专业厂家处理问题以及还原炉采用电镀时镀液需要量大的问题，节约了运输成本和电镀成本。

本实用新型技术方案是：一种多晶硅还原炉内壁电镀过程中的仿形阳极及固定装置，包括仿形阳极装置和十字形的固定装置；所述仿形阳极装置包括仿形阳极内胆、内胆顶部固定螺栓1、内胆底部固定螺栓2；所述仿形阳极内胆与还原炉内壁形状相同，且与还原炉同轴嵌套，通过内胆顶部固定螺栓1、内胆底部固定螺栓2固定到还原炉内壁上，内胆顶部固定螺栓1有四个，分别位于还原炉切面的十字形方向上，仿形阳极内胆与还原炉之间装有溶液8；

所述十字形固定装置包括侧面固定螺栓3、十字支架4、固定三角铁5以及顶部固定轴6；

所述十字形固定装置上的十字支架4用于夹住还原炉的底部，并通过四个侧面固定螺栓3紧固，顶部固定轴6穿过十字支架4的中心并插入还原炉底端一部分，所述仿形阳极内胆可以为不溶性阳极，采用钛板制成。

所述顶部固定轴6的轴心和内胆底部固定螺栓2在一条直线上。

所述顶部固定轴6与十字支架4通过固定三角铁5焊接成为一体。

所述十字支架4上可以套有绳索用于连接还原炉的起吊装置。

所述十字支架4采用高强度结构钢。

所述仿形阳极内胆可以为可溶性阳极，采用所需镀在还原炉内壁的金属制成。

所述装有仿形阳极装置和十字形的固定装置的还原炉的底端放置在与还原炉底部形状相同的底座7中。

本实用新型的工作过程是：在使用时，首先将仿形阳极内胆放置到还原炉内，与还原炉同轴嵌套，通过内胆顶部固定螺栓1、内胆底部固定螺栓2固定到还原炉内壁上，然后在还原炉的顶部装上十字形固定装置，十字形固定装置上的十字支架4夹住还原炉的开口端，并通过四个侧面固定螺栓3紧固，顶部固定轴6穿过十字支架4的中心并插入还原炉底端一部分，最后把安装好的还原炉吊到操作间固定，固定的时候把还原炉底端放在预先准备好的与还原炉底部形状相同的底座7中，保持还原炉稳固、平衡，便于进行后续的电镀操作。

本实用新型的工作原理是：电镀时，首先在还原炉上固定好仿形阳极装置及其固定装置，其次将固定有仿形阳极及十字形固定装置的还原炉通过十字形固定装置吊装到底座7中，并保持还原炉稳固、平衡，再在仿形阳极内胆和还原炉的内壁之间注入前处理溶液进行除油、酸洗、等前处理操作，然后将还原炉的内壁作为阴极的被镀件，接到电镀电源的阴极，仿形阳极装置中的仿形阳极内胆作为阳极，接到电镀电源的阳极，在仿形阳极内胆和还原炉的内壁之间注入镀液，计算好还原炉内壁面积，根据电流密度计算需开电流值，最后将电镀电源打开并调至先前计算好的电流值，实施电镀。

本实用新型的有益效果是：本实用新型提供了一种与还原炉形状相似，半径小于还原炉内壁半径的仿形阳极，以及固定装置。通过固定装置将仿形阳极与还原炉内壁同心轴嵌套并固定到还原炉内。此装置适用于还原炉电镀及前处理操作过程，解决了现有的还原炉内壁采用真空离子镀时需要长距离的运输，专业厂家处理的问题。同时仿形阳极的使用，占据了还原炉内的大部分体积，解决了传统电镀不使用仿形阳极时造成镀液需求量大的问题，节约了成本；

此仿形阳极，以及固定装置无需大量镀液和操作设备，无需将还原炉进行长距离运输，安全性高。此外，该装置机构简单，成本低，使用方便灵活，可操作性良好，减少了人力成本和能耗，有效地辅助电镀及其前处理操作，用后拆装方便，便于移动，减少庞大的还原炉的移动。

附图说明

图1为本实用新型仿形阳极内胆及十字形固定装置主视图；

图2为本实用新型仿形阳极内胆主视图；

图3为本实用新型十字支架主视图；

图4为本实用新型十字支架俯视图。