[实用新型]一种尾气回收装置清洗系统

权利要求书

1.一种尾气回收装置清洗系统，包括：换热器、吸收塔和解析塔，换热器分别与吸收塔和解析塔相连，吸收塔与解析塔相连，合成尾气输送管线与换热器相连，用于向换热器输送包含有氯硅烷的合成尾气，其特征在于，所述系统还包括流体输送装置；

所述流体输送装置分别与解析塔、吸收塔和换热器相连，用于将从解析塔输送出的氯硅烷输送至吸收塔和换热器，以利用氯硅烷溶解吸收塔和换热器内附着的高沸化合物。

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括加热装置，加热装置与解析塔相连，用于对从解析塔输送出的氯硅烷加热，并将加热后的氯硅烷输送至解析塔。

3.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述加热装置具体用于，将从解析塔输送出的氯硅烷加热至100-200℃。

4.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述换热器还与气体输送管线相连，气体输送管线用于将气体输送至换热器；所述系统还包括气液分离罐和压缩机；

气液分离罐分别与换热器、压缩机和解析塔相连，用于将从换热器输送出的气液混合物中的气体和已溶解高沸化合物的氯硅烷分离，以及，将已溶解高沸化合物的氯硅烷输送至解析塔，并将分离出的气体输送至压缩机；

压缩机与吸收塔相连，用于对从气液分离罐输送的气体升压，并将升压后的气体输送至吸收塔，以提高吸收塔内附着的低沸化合物的溶解度。

5.如权利要求4所述的系统，其特征在于，压缩机与吸收塔的下部相连，流体输送装置分别与解析塔的底部和吸收塔的顶部相连，吸收塔的底部与解析塔相连；

吸收塔具体用于，利用流体输送装置输送的氯硅烷溶解吸收塔内附着的高沸化合物和低沸化合物，并将已溶解高沸化合物和低沸化合物的氯硅烷输送至解析塔。

6.如权利要求4所述的系统，其特征在于，所述压缩机具体用于，将气体升压至1.1-1.3MPa。

7.如权利要求4所述的系统，其特征在于，所述气体输送管线还用于，在所述流体输送装置完成将氯硅烷输送至吸收塔和换热器之后，继续将气体输送至换热器，以使所述气体经由气液分离罐分离并输送至压缩机，用以利用所述气体吹扫换热器、吸收塔、解析塔及其相连的管线。

8.如权利要求7所述的系统，其特征在于，所述气体输送管线内气体的压力为0.04-0.1MPa，气体的温度为80-200℃。

9.如权利要求7所述的系统，其特征在于，所述气体输送管线用于输送还原空烧氢气。

10.如权利要求1-9任一项所述的系统，其特征在于，所述流体输送装置为高温屏蔽泵。