[实用新型]一种尾气回收装置清洗系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产尾气处理技术领域，特别涉及一种用于清洗尾气回收装置的清洗系统。

背景技术

传统的多晶硅生产中，产生的尾气主要包括：氢气、氯化氢、氯硅烷，硅粉尘和高沸化合物，氯硅烷包括二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅等，其中高沸化合物的成分是除硅粉尘外的其它副反应生成的固体颗粒，如金属颗粒。合成反应后，有少量的三氯氢硅、四氯化硅以及大量的氢气、氯化氢和硅粉尘以及高沸化合物没有在合成装置冷凝成液体，未冷凝的气体成为合成尾气进入尾气回收装置。

尾气回收装置在长期运行过程中，合成尾气中富含的高沸化合物在冷凝降温过程中结晶形成胶状物，容易与硅粉尘、金属颗粒等固体颗粒抱团，堵塞换热器等冷凝设备和吸收塔填料间隙，使得尾气回收装置无法正常工作。

这些高沸化合物冷凝形成的胶状物吸附着低沸点组分，在尾气回收装置停车吹扫置换过程中很难清理干净。如需清理上述堵塞设备管线的高沸化合物，目前的方法为：将被堵塞的设备管线拆开，通过人工疏通，并用高温蒸汽浸泡吹扫清理。而这种尾气回收装置清洗方法存在以下问题：

(1)人工在清洗作业过程中，需要将尾气回收装置停车，影响多晶硅生产的稳定性；

(2)设备管线需要拆开，一方面，尾气回收装置及设备管线中残余的氯硅烷容易与空气接触发生反应产生大量酸雾，腐蚀设备、管线；同时这部分酸雾易沉积附着在设备、管线中很难去除，在尾气回收装置再次开启后，又易随物料循环带入下游原料提纯工序，增大原料提纯工序除杂的负荷，从而影响多晶硅产品品质；另一方面，高沸化合物与空气接触也极易发生闪燃闪爆事故；

(3)由人工进行尾气回收装置清洗，工作量大、危险性高。

因此，亟需一种尾气回收装置清洗系统以解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术中存在的上述不足，提供一种尾气回收装置清洗系统，用以解决尾气回收装置清洗安全性低、费时费力、腐蚀设备管线、影响多晶硅生产的问题。

本实用新型为解决上述技术问题，采用如下技术方案：

本实用新型提供一种尾气回收装置清洗系统，包括：换热器、吸收塔和解析塔，换热器分别与吸收塔和解析塔相连，吸收塔与解析塔相连，合成尾气输送管线与换热器相连，用于向换热器输送包含有氯硅烷的合成尾气，所述系统还包括流体输送装置；

所述流体输送装置分别与解析塔、吸收塔和换热器相连，用于将从解析塔输送出的氯硅烷输送至吸收塔和换热器，以利用氯硅烷溶解吸收塔和换热器内附着的高沸化合物。

进一步的，所述系统还包括加热装置，加热装置与解析塔相连，用于对从解析塔输送出的氯硅烷加热，并将加热后的氯硅烷输送至解析塔。

优选的，所述加热装置具体用于，将从解析塔输送出的氯硅烷加热至100-200℃。

进一步的，所述换热器还与气体输送管线相连，气体输送管线用于将气体输送至换热器；所述系统还包括气液分离罐和压缩机；

气液分离罐分别与换热器、压缩机和解析塔相连，用于将从换热器输送出的气液混合物中的气体和已溶解高沸化合物的氯硅烷分离，以及，将已溶解高沸化合物的氯硅烷输送至解析塔，并将分离出的气体输送至压缩机；

压缩机与吸收塔相连，用于对从气液分离罐输送的气体升压，并将升压后的气体输送至吸收塔，以提高吸收塔内附着的低沸化合物的溶解度。

优选的，压缩机与吸收塔的下部相连，流体输送装置分别与解析塔的底部和吸收塔的顶部相连，吸收塔的底部与解析塔相连；

吸收塔具体用于，利用流体输送装置输送的氯硅烷溶解吸收塔内附着的高沸化合物和低沸化合物，并将已溶解高沸化合物和低沸化合物的氯硅烷输送至解析塔。

优选的，所述压缩机具体用于，将气体升压至1.1-1.3MPa。

进一步的，所述气体输送管线还用于，在所述流体输送装置完成将氯硅烷输送至吸收塔和换热器之后，继续将气体输送至换热器，以使所述气体经由气液分离罐分离并输送至压缩机，用以利用所述气体吹扫换热器、吸收塔、解析塔及其相连的管线。

优选的，所述气体输送管线内气体的压力为0.04-0.1MPa，气体的温度为80-200℃。

优选的，所述气体输送管线用于输送还原空烧氢气。

优选的，所述流体输送装置为高温屏蔽泵。

本实用新型具有如下有益效果：