[实用新型]一种用于硅片传输系统的顶升换向机构

权利要求书

1. 一种用于硅片传输系统的顶升换向机构，其特征在于，包括横向布置的横向传送机架（7）和纵向布置的纵向传送机架；所述横向传送机架（7）上装有多个横向传送皮带轮（9）和包绕在多个横向传送皮带轮（9）上的横向传送皮带，所述纵向传送机架装有多个纵向传送皮带轮（8）和包绕在多个纵向传送皮带轮（8）上的纵向传送皮带；所述纵向传送机架上部具有容纳横向传送机架（7）穿过的空间，在横向传送机架（7）下方至少设有两个纵向传送皮带轮（8），使所述横向传送机架（7）在驱动装置的驱动下可在此空间内上下往复运动，且横向传送机架（7）运动至上止点时横向传送皮带的顶面高于纵向传送皮带的顶面。

2. 根据权利要求1所述的用于硅片传输系统的顶升换向机构，其特征在于，所述驱动装置的驱动轴与一偏心轮（4）相连，该偏心轮（4）通过过渡机构驱动所述横向传送机架（7）上下往复运动。

3. 根据权利要求2所述的用于硅片传输系统的顶升换向机构，其特征在于，所述过渡机构包括连杆（5）、连接板（13）和导向轴（11）；所述连杆（5）的一端具有容纳所述偏心轮（4）转动的腔体，该连杆（5）的另一端铰接在连接板（13）上；所述导向轴（11）的一端与连接板（13）相连，该导向轴（11）的一端与所述横向传送机架（7）相连。

4. 根据权利要求1~3之一所述的用于硅片传输系统的顶升换向机构，其特征在于，所述驱动装置为顶升电机（14）。

5. 根据权利要求4所述的用于硅片传输系统的顶升换向机构，其特征在于，所述顶升电机（14）为双轴步进电机。

6. 根据权利要求3所述的用于硅片传输系统的顶升换向机构，其特征在于，所述连杆（3）的一端装有轴承，并通过轴承止动销与连接板（13）固定在一起。

7. 根据权利要求2或3所述的用于硅片传输系统的顶升换向机构，其特征在于，所述偏心轮（4）的偏心距为2mm~3mm。

8. 根据权利要求1~3之一所述的用于硅片传输系统的顶升换向机构，其特征在于，所述纵向传送机架包括第一侧板（6）和第二侧板（10）。

9. 根据权利要求8所述的用于硅片传输系统的顶升换向机构，其特征在于，所述第一侧板和所述第二侧板上各设有5个纵向传送皮带轮（8），每个侧板顶部装有3个纵向传送皮带轮（8），底部装有2个纵向传送皮带轮（8），且上下交错安装，纵向传送皮带呈w形状依次绕过5个纵向传送皮带轮（8）。

10. 根据权利要求1~3之一所述的用于硅片传输系统的顶升换向机构，其特征在于，所述横向传送机架（7）装有驱动横向传送皮带轮（9）的横向传送电机（15）。