[实用新型]一种用于硅片传输系统的顶升换向机构有效
申请号: | 201420429209.5 | 申请日: | 2014-07-31 |
公开(公告)号: | CN204038562U | 公开(公告)日: | 2014-12-24 |
发明(设计)人: | 龙辉;郭立;宁宗娥 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
主分类号: | B65G47/64 | 分类号: | B65G47/64;H01L21/677 |
代理公司: | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人: | 马强;李发军 |
地址: | 410111 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 硅片 传输 系统 换向 机构 | ||
技术领域
本实用新型涉及硅片传输领域,尤其涉及一种用于硅片传输系统的顶升换向机构。
背景技术
在硅片和电池片传输过程中,为了实现不同功能需求,往往需要在纵向传送和横向传送之间进行转换,在丝网印刷设备、测试分选设备中这种现象尤为常见。
目前,硅片和电池片传输过程中纵向传送与横向传送转换主要采用以下两种方式:
(1)采用机械手抓取硅片和电池片来实现换向;
(2)采用气缸顶升换向来实现。
第一种方式的优点在于定位精度比较高,但是整个硅片传输只能是步进间歇式传输,产能受到限制;第二种方式可实现无间歇式传输,产能相对第一种方式较高,但受到气缸本身特性的影响,无法实现高速顶升换向。随着客户对产能的要求越来越高,以上两种方式都无法满足。
实用新型内容
为了提高顶升换向机构的硅片换向效率,本实用新型旨在提供一种用于硅片传输系统的顶升换向机构,该顶升换向机构可以快速、精确地实现硅片的换向。
为了实现上述目的,本实用新型所采用的技术方案是:
一种用于硅片传输系统的顶升换向机构,其特征在于,包括横向布置的横向传送机架和纵向布置的纵向传送机架;所述横向传送机架上装有多个横向传送皮带轮和包绕在多个横向传送皮带轮上的横向传送皮带,所述纵向传送机架装有多个纵向传送皮带轮和包绕在多个纵向传送皮带轮上的纵向传送皮带;所述纵向传送机架上部具有容纳横向传送机架穿过的空间,在横向传送机架下方至少设有两个纵向传送皮带轮,使所述横向传送机架在驱动装置的驱动下可在此空间内上下往复运动,且横向传送机架运动至上止点时横向传送皮带的顶面高于纵向传送皮带的顶面。
以下为本实用新型的进一步改进的技术方案:
本实用新型的特征还在于所述驱动装置的驱动轴与一偏心轮相连,该偏心轮通过过渡机构驱动所述横向传送机架上下往复运动。更进一步地,所述过渡机构包括连杆、连接板和导向轴;所述连杆的一端具有容纳所述偏心轮转动的腔体,该连杆的另一端铰接在连接板上;所述导向轴的一端与连接板相连,该导向轴的一端与所述横向传送机架相连。工作时通过偏心轮旋转运动转换为横向传送机架上下运动,从而实现纵向传送与横向传送的转换。
本实用新型的特征还在于所述驱动装置为顶升电机。更进一步地,所述顶升电机为双轴步进电机。
本实用新型的特征还在于所述连杆的一端装有轴承,并通过轴承止动销与连接板固定在一起。
本实用新型的特征还在于所述偏心轮的偏心距为2mm~3mm。
本实用新型的特征还在于所述纵向传送机架包括第一侧板和第二侧板。更进一步地,所述第一侧板和所述第二侧板上各设有5个纵向传送皮带轮,每个侧板顶部装有3个纵向传送皮带轮,底部装有2个纵向传送皮带轮,且上下交错安装,纵向传送皮带呈w形状依次绕过5个纵向传送皮带轮。由此,可以避免与横向传送皮带干涉;横向传送机架上装有横向传送皮带轮和横向传送电机,在横向传送电机的驱动下实现横向传送。
本实用新型的特征还在于所述横向传送机架装有驱动横向传送皮带轮的横向传送电机。
以下对本实用新型作进一步的介绍:
本实用新型所述的硅片顶升换向机构主要包括顶升电机、偏心轮、连杆、轴承、导向轴、直线轴承、连接板、横向传送机架、横向传送皮带轮、横向传送电机、纵向传送皮带轮、第一侧板、第二侧板。顶升电机采用双轴步进电机,顶升电机安装在第一侧板上,其两端的电机轴穿过左第二侧板,电机轴上装有偏心轮,偏心轮通过轴承与连杆一端装在一起,连杆一端同样设有一个轴承,通过轴承止动销与连接板连接。连接板上固定了4根导向轴,导向轴从左第二侧板穿过,其另一端与横向传送机架固定,左第二侧板上还各装有4个直线轴承,用来支撑导向轴。左第二侧板外侧各固定了5个纵向传送皮带轮,侧板顶部3个,底部2个,且上下交错安装,纵向传送依次绕过上下5个纵向传送皮带轮,从而绕过横向传送机架,避免与横向传送皮带干涉。横向传送机架两侧装有横向传送皮带轮,底部装有横向传送电机,在横向传送电机的驱动下实现横向传送。
工作时,偏心轮处于低位,横向传送机架略低于左第二侧板,纵向传送皮带轮将硅片传输到横向传送机架上方后,顶升电机带动偏心轮和连杆,使连接板往上运动,连接板通过导向轴将横向传送机架顶到高位,硅片被横向传送机架顶起并脱离纵向传送皮带,在横向传送皮带带动下实现纵向传送和横向传送转换,等到硅片脱离横向传送皮带,顶升电机运转,偏心轮回到低位,等待下一片硅片。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
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