[实用新型]一种MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201420430271.6 | 申请日： | 2014-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN204014056U | 公开（公告）日： | 2014-12-10 |
| 发明（设计）人： | 蔡孟锦 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 | ||
1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：
基底，所述基底设置有贯穿所述基底的声腔；
第一绝缘层，所述第一绝缘层设置在所述基底正面，且位于所述声腔四周；
振膜，所述振膜设置在所述第一绝缘层表面，且覆盖与所述声腔相对的区域；
第二绝缘层，所述第二绝缘层设置在所述振膜与所述第一绝缘层相对区域的表面；
背极，所述背极设置在所述第二绝缘层的表面，且覆盖所述振膜与所述声腔相对的区域，所述背极与所述振膜不接触；
其中，所述振膜的振动区域包括：加强筋区域以及包围所述加强筋区域的纹膜区域；所述加强筋区域设置有与所述振动区域径向平行的加强筋；所述纹膜区域设置有多个间隔分布的环状纹膜凹槽。
2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述背极的背面与所述环状纹膜凹槽相对的区域设置有环状凸起。
3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述背极的正面与所述环状凸起相对的区域设置有环状凹槽。
4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述加强筋是设置在所述振膜正面的振膜凹槽，所述振膜凹槽的延伸方向平行于所述振动区域径向。
5.根据权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于，还包括：
设置在所述振膜的背面与所述振膜凹槽相对的振膜凸起。
6.根据权利要求5所述的MEMS麦克风，其特征在于，还包括：
设置在所述背极背面与所述振膜凹槽相对的背极凸起。
7.根据权利要求5所述的MEMS麦克风，其特征在于，还包括：
设置在所述背极正面与所述背极凸起相对的背极凹槽。
8.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述加强筋是设置在所述振膜正面的振膜凸起，所述振膜凸起的延伸方向平行于所述振动区域径向。
9.根据权利要求8所述的MEMS麦克风，其特征在于，还包括：
设置在所述振膜背面与所述振膜凸起相对的振膜凹槽。
10.根据权利要求9所述的MEMS麦克风，其特征在于，还包括：
设置在所述背极背面与所述振膜凸起相对的凹槽；
设置在所述背极正面与所述背极背面的凹槽相对的凸起。
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