[实用新型]一种MEMS麦克风

说明书

技术领域

本实用新型涉及麦克风技术领域，更具体地说，涉及一种MEMS麦克风。

背景技术

近年来，利用MEMS(Micro-Electro-Mechanical-System，简称MEMS)工艺集成的MEMS麦克风由于具有封装体积小、可靠性高、成本低等优点，本广泛应用于手机、平板电脑、相机、助听器、智能玩具以及监听装置等电子产品中。

MEMS麦克风在声腔的一个开口处设置有相对设置的振膜和背极。所述振膜和背极之间具有间距，所述振膜与背极形成检测电容。不同强度的声音振动导致所述振膜与所述背极之间的声压不同，从而导致所述振膜发生不同程度的振动，进而使得所述检测电容改变，通过声音控制芯片感知所述检测电容的变化，从而实现将声音信号转换为电信号，实现对声音信号的探测。

现有的MEMS麦克风会由于振膜四周与中间振动幅度不同，会导致其与背极之间的声压不均匀，从而影响MEMS麦克风将声音信号转换为电信号的性能。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种MEMS麦克风，所述MEMS麦克风背极与振膜之间的声压均匀性好，将声音信号转换为电信号的性能较好。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种MEMS麦克风，该MEMS麦克风包括：

基底，所述基底设置有贯穿所述基底的声腔；

第一绝缘层，所述第一绝缘层设置在所述基底正面，且位于所述声腔四周；

振膜，所述振膜设置在所述第一绝缘层表面，且覆盖与所述声腔相对的区域；

第二绝缘层，所述第二绝缘层设置在所述振膜与所述第一绝缘层相对区域的表面；

背极，所述背极设置在所述第二绝缘层的表面，且覆盖所述振膜与所述声腔相对的区域，所述背极与所述振膜不接触；

其中，所述振膜的振动区域包括：加强筋区域以及包围所述加强筋区域的纹膜区域；所述加强筋区域设置有与所述振动区域径向平行的加强筋；所述纹膜区域设置有多个间隔分布的环状纹膜凹槽。

优选的，在上述MEMS麦克风中，所述背极的背面与所述环状纹膜凹槽相对的区域设置有环状凸起。

优选的，在上述MEMS麦克风中，所述背极的正面与所述环状凸起相对的区域设置有环状凹槽。

优选的，在上述MEMS麦克风中，所述加强筋是设置在所述振膜正面的振膜凹槽，所述振膜凹槽的延伸方向平行于所述振动区域径向。

优选的，在上述MEMS麦克风中，还包括：

设置在所述振膜的背面与所述振膜凹槽相对的振膜凸起。

优选的，在上述MEMS麦克风中，还包括：

设置在所述背极背面与所述振膜凹槽相对的背极凸起。

优选的，在上述MEMS麦克风中，还包括：

设置在所述背极正面与所述背极凸起相对的背极凹槽。

优选的，在上述MEMS麦克风中，所述加强筋是设置在所述振膜正面的振膜凸起，所述振膜凸起的延伸方向平行于所述振动区域径向。

优选的，在上述MEMS麦克风中，还包括：

设置在所述振膜背面与所述振膜凸起相对的振膜凹槽。

优选的，在上述MEMS麦克风中，还包括：

设置在所述背极背面与所述振膜凸起相对的凹槽；

设置在所述背极正面与所述背极背面的凹槽相对的凸起。

从上述技术方案可以看出，本实用新型所提供的MEMS麦克风包括：基底，所述基底设置有贯穿所述基底的声腔；第一绝缘层，所述第一绝缘层设置在所述基底正面，且位于所述声腔四周；振膜，所述振膜设置在所述第一绝缘层表面，且覆盖与所述声腔相对的区域；第二绝缘层，所述第二绝缘层设置在所述振膜与所述第一绝缘层相对区域的表面；背极，所述背极设置在所述第二绝缘层的表面，且覆盖所述振膜与所述声腔相对的区域，所述背极与所述振膜不接触；其中，所述振膜的振动区域包括：加强筋区域以及包围所述加强筋区域的纹膜区域；所述加强筋区域设置有与所述振动区域径向平行的加强筋；所述纹膜区域设置有多个间隔分布的环状纹膜凹槽。所述MEMS麦克风通过在所述振膜上设置加强筋使得所述振膜与所述背极之间的声压更加均匀，保证了MEMS麦克风将声音信号转换为电信号的性能。

附图说明