[实用新型]一种MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括： 

基底； 

贯穿所述基底的声腔； 

设置在所述基底正面，位于所述声腔四周的第一绝缘层； 

设置在所述第一绝缘层表面，且覆盖与所述声腔相对的区域的设定形状的背极； 

设置在所述背极表面与所述第一绝缘层相对区域的第二绝缘层； 

设置在所述第二绝缘层表面，且覆盖所述背极与所述声腔相对区域的振膜，所述振膜形状与所述背极形状相匹配； 

其中，所述振膜的振动区域包括：加强筋区域以及包围所述加强筋区域的纹膜区域；所述加强筋区域设置有与所述振动区域径向平行的加强筋；所述纹膜区域设置有纹膜。 

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述背极包括： 

与所述声腔相对的第一圆形平面。 

3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述背极还包括： 

多个背极压脚，所述背极压脚用于增大所述背极与所述第一绝缘层的接触面积，所述背极压脚均匀分布在所述第一圆形平面的外边缘。 

4.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述振膜包括： 

与所述声腔相对的第二圆形平面。 

5.根据权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述振膜还包括： 

多个振膜压脚，所述振膜压脚用于增大所述振膜与所述第二绝缘层的接触面积，所述振膜压脚均匀分布在所述第二圆形平面的外边缘。 

6.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述背极包括： 

与所述声腔相对的四边形平面； 

其中，所述四边形平面的四条边为相同的第一圆弧；所述第一圆弧均朝向所述四边形平面的中心凸起；相邻的两个第一圆弧通过第二圆弧连接，且所述第二圆弧朝向所述四边形的中心弯曲。 

7.根据权利要求6所述MEMS麦克风，其特征在于，所述振膜包括： 

与所述声腔相对设置的八边形平面； 

其中，所述八边形平面的八条边为相同的第三圆弧；所述第三圆弧与所述第一圆弧半径相同，其弧长小于第一圆弧弧长；在垂直于振膜的方向上，其中四条第三圆弧与所述四边形平面的四条边对应重合。 

8.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述加强筋为设置在所述振膜正面的凹槽，所述凹槽的延伸反向通过所述振动区域的中心，且与所述振动区域径向平行。 

9.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，还包括： 

多个贯穿所述背极的声孔。 

10.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，还包括： 

设置在所述振膜背面或是所述背极正面的尖点。