[实用新型]一种MEMS麦克风

说明书

技术领域

本实用新型涉及麦克风技术领域，更具体地说，涉及一种MEMS麦克风。 

背景技术

近年来，利用MEMS(Micro-Electro-Mechanical-System，简称MEMS)工艺集成的MEMS麦克风由于具有封装体积小、可靠性高、成本低等优点，本广泛应用于手机、平板电脑、相机、助听器、智能玩具以及监听装置等电子产品中。 

MEMS麦克风在声腔的一个开口处设置有相对设置的振膜和背极。所述振膜和背极之间具有间距，所述振膜与背极形成检测电容。不同强度的声音振动导致所述振膜与所述背极之间的声压不同，从而导致所述振膜发生不同程度的振动，进而使得所述检测电容改变，通过声音控制芯片感知所述检测电容的变化，从而实现将声音信号转换为电信号，实现对声音信号的探测。 

现有的MEMS麦克风会由于振膜四周与中间振动幅度不同，会导致其与背极之间的声压不均匀，从而影响MEMS麦克风将声音信号转换为电信号的性能。 

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种MEMS麦克风，所述MEMS麦克风背极与振膜之间的声压均匀性好，将声音信号转换为电信号的性能较好。 

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案： 

一种MEMS麦克风，该MEMS麦克风包括： 

基底； 

贯穿所述基底的声腔； 

设置在所述基底正面，位于所述声腔四周的第一绝缘层； 

设置在所述第一绝缘层表面，且覆盖与所述声腔相对的区域的设定形状的背极； 

设置在所述背极表面与所述第一绝缘层相对区域的第二绝缘层； 

设置在所述第二绝缘层表面，且覆盖所述背极与所述声腔相对区域的振膜，所述振膜形状与所述背极形状相匹配； 

其中，所述振膜的振动区域包括：加强筋区域以及包围所述加强筋区域的纹膜区域；所述加强筋区域设置有与所述振动区域径向平行的加强筋；所述纹膜区域设置有纹膜。 

优选的，在上述MEMS麦克风中，所述背极包括： 

与所述声腔相对的第一圆形平面。 

优选的，在上述MEMS麦克风中，所述背极还包括： 

多个背极压脚，所述背极压脚用于增大所述背极与所述第一绝缘层的接触面积，所述背极压脚均匀分布在所述第一圆形平面的外边缘。 

优选的，在上述MEMS麦克风中，所述振膜包括： 

与所述声腔相对的第二圆形平面。 

优选的，在上述MEMS麦克风中，所述振膜还包括： 

多个振膜压脚，所述振膜压脚用于增大所述振膜与所述第二绝缘层的接触面积，所述振膜压脚均匀分布在所述第二圆形平面的外边缘。 

优选的，在上述MEMS麦克风中，所述背极包括： 

与所述声腔相对的四边形平面； 

其中，所述四边形平面的四条边为相同的第一圆弧；所述第一圆弧均朝向所述四边形平面的中心凸起；相邻的两个第一圆弧通过第二圆弧连接，且所述第二圆弧朝向所述四边形的中心弯曲。 

优选的，在上述MEMS麦克风中，所述振膜包括： 

与所述声腔相对设置的八边形平面； 

其中，所述八边形平面的八条边为相同的第三圆弧；所述第三圆弧与所述第一圆弧半径相同，其弧长小于第一圆弧弧长；在垂直于振膜的方向上，其中四条第三圆弧与所述四边形平面的四条边对应重合。 

优选的，在上述MEMS麦克风中，所述加强筋为设置在所述振膜正面的凹槽，所述凹槽的延伸反向通过所述振动区域的中心，且与所述振动区域径向平行。 

优选的，在上述MEMS麦克风中，还包括： 

多个贯穿所述背极的声孔。 

优选的，在上述MEMS麦克风中，还包括： 

设置在所述振膜背面或是所述背极正面的尖点。