[实用新型]一种基于腔体技术多芯片叠加封装装置有效
申请号: | 201420433174.2 | 申请日: | 2014-08-01 |
公开(公告)号: | CN204102862U | 公开(公告)日: | 2015-01-14 |
发明(设计)人: | 袁正红;蒋学东;毛忠宇 | 申请(专利权)人: | 深圳市兴森快捷电路科技股份有限公司;广州兴森快捷电路科技有限公司;宜兴硅谷电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/52 | 分类号: | H01L21/52;H01L23/488;H01L25/00;H01L21/60 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 张龙哺 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 技术 芯片 叠加 封装 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及半导体封装体,特别是一种基于腔体技术多芯片叠加封装装置。
背景技术
随着科技的发展,电子类产品如手机,平板,智能手表等都日趋多功能化、小型化、薄型化,这就要求这些产品内部芯片的封装做的更小、更薄,且可存储更大的数据量。由于芯片制造工艺限制以及芯片尺寸趋向小型化的要求,单颗芯片的容量仍有限,一般从4GB至16GB。如果存储装置需求64GB的容量,则需要至少4颗存储芯片,因此,半导体封装结构已多芯片封装为趋势,将两个或两个以上的半导体芯片组合在单一封装结构中,减少整体电路体积,并提高存储容量。
传统的多芯片封装结构采用并排式多芯片封装结构,即将两个或两个以上的芯片并排安装在同一基板上,由于所述基板会随着芯片数目的增加而加大,其存在封装体积较大的缺点。
为解决上述问题,现已发展出使用多个芯片堆叠的方式来达到三度空间的封装,现有技术中主要有以下四种多芯片堆叠封装结构。
图1是一种多芯片阶梯式叠加封装装置,其包括一基板10’、多个存储芯片11’及一控制芯片12’,各存储芯片11’、控制芯片12’、基板10’均设有焊盘,所述相邻存储芯片11’之间、所述各存储芯片11’与基板10’之间连接有金线13’,所述多个存储芯片11’呈阶梯状堆叠在基板10’上,并露出各存储芯片11’的焊盘,各存储芯片11’朝同一方向键合金线13’,控制芯片12’设置在最上层存储芯片11’上,且位于存储芯片11’键合金线13’方向的另一侧。该结构芯片叠加后的高度高,按成熟工艺、高良率、及低成本设计,采用存储芯片11’为0.1mm厚度,控制芯片12’ 为0.1mm厚度,五颗芯片叠加后的总厚度(包括芯片之间的粘接胶层)约为0.625mm,控制芯片12’上方设有金线13’,该金线13’高出控制芯片12’约为0.1mm,总厚度约0.725mm,多数塑封料空间的高度0.8mm以内,由此封装完之后的封装装置常出现金线13’露出塑封料,甚至控制芯片12’露出塑封料,同时控制芯片12’的金线13’容易被冲弯导致与旁边金线13’短路;由于各存储芯片11’沿同一方向阶梯式叠加,芯片叠加后占用的面积大;阶梯方向长度多出约0.8~1.5mm。控制芯片12’放置于最上层存储芯片11’上方,由于各存储芯片11’叠加之后的高度约0.5mm,控制芯片12’的焊盘离基板10’上的焊盘一般间距为0.5mm以上,控制芯片12’应该放置在最上层存储芯片11’的边缘,在模流冲入时容易将存储芯片11’突出部分冲翘起,造成芯片的裂开,同时控制芯片12’放置在最上层存储芯片11’突出部分,在粘接控制芯片12’时容易对最上层存储芯片11’造成裂开伤害。
图2是一种多芯片交错式叠加封装装置,其包括基板10’、控制芯片12’及多个存储芯片11’,各存储芯片11’、控制芯片12’、基板10’均设有焊盘,所述各存储芯片11’与基板10’之间连接有金线13’,所述多个存储芯片11’交错堆叠在基板10’上,并露出各存储芯片11’的焊盘,相邻两个存储芯片11’朝相反方向键合金线13’,控制芯片12’设置在最上层存储芯片11’上,并位于最上层存储芯片11’的一侧。该结构芯片叠加后的高度高,控制芯片12’的金线13’高度高,容易造成控制芯片12’及其金线13’露出塑封料,同时控制芯片12’的金线13’容易被冲弯导致与旁边金线13’短路。
图3是另一种多芯片阶梯式叠加封装装置,其与图1所示结构不同之处在于,控制芯片12’设置在基板10’上,且位于存储芯片11’键合金线13’方向的另一侧。该结构芯片叠加后占用面积大,阶梯方向长度多出约0.8~1.5mm,且控制芯片12’与各存储芯片11’之间的塑封料部分通常会残留空隙,容易造成封装装置的可靠性低,存储芯片11’突出部分容易在模流进入时被冲翘,造成芯片的裂开。
图4是另一种多芯片交错式叠加封装装置,其与图1所示结构不同之处在于,控制芯片12’设置在基板10’上,且位于最下层存储芯片11’的一侧。该结构基板10’占用面积大,至少多出一个控制芯片12’的面积,不符合产品小型化的要求。
实用新型内容
为了克服现有技术的不足,本实用新型提供一种基于腔体技术多芯片叠加封装装置,其可降低封装体积,降低封装工艺难度,并提高封装良率。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
一种基于腔体技术多芯片叠加封装装置,包括:
基板,其上表面形成有上端敞口的腔体;
第一芯片,设置于所述腔体内,其与所述基板电连接;及
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造