[实用新型]一种热工作台

权利要求书

1.一种热工作台，其特征在于：包括由上到下依次连接的导热板、云母固定层、热源层、隔热层，所述导热板由导热陶瓷制成，所述云母固定层的外表面涂覆有无机胶，所述导热板通过无机胶固定于云母固定层的上表面，所述热源层通过无机胶固定于云母固定层的下表面，所述热源层由Cr20Ni80电热合金制成，所述热源层上蚀刻有热源线路，所述热源线路包括A相、B相、C相，所述A相、B相、C相通过星形接法相连接，所述隔热层由氧化铝纤维压合而成，其外表面通过氧化锆涂层硬化。

2.根据权利要求1所述的一种热工作台，其特征在于：所述导热陶瓷为氮化铝陶瓷。

3.根据权利要求2所述的一种热工作台，其特征在于：所述氮化铝陶瓷为氮化铝-氮化硅陶瓷。

4.根据权利要求1或2所述的一种热工作台，其特征在于：所述导热板的导热率为200W/mK。

5.根据权利要求1或2所述的一种热工作台，其特征在于：所述A相、B相、C相的相宽均为10mm，所述A相、B相、C相中每两相之间的电阻偏差小于1％，所述A相、B相、C相中每两相之间的间距为5mm。

6.根据权利要求1或2所述的一种热工作台，其特征在于：所述隔热层的导热率为0.15W/mK。