[实用新型]一种机械手臂有效
| 申请号： | 201420470066.2 | 申请日： | 2014-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN204054067U | 公开（公告）日： | 2014-12-31 |
| 发明（设计）人： | 高剑鸣;张杨 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/00 | 分类号： | B25J15/00;B25J19/00;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 机械 手臂 | ||
【权利要求书】：
1.一种机械手臂，用于传送半导体晶片，所述机械手臂包含U型插片，所述U型插片包含主体部、与所述主体部相连接的分叉端和位于所述主体部内的校正孔，其特征在于，所述主体部上设有至少一个挖除所述主体部部分材料形成的去除部。
2.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于：所述去除部为凹槽，所述凹槽位于所述主体部的至少一侧表面上。
3.根据权利要求2所述的机械手臂，其特征在于：所述主体部一侧表面上的凹槽为多个，位于所述主体部一侧表面上的多个凹槽分布成阵列结构。
4.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于：所述去除部为通孔，所述通孔位于所述主体部上校正孔之外的区域内。
5.根据权利要求4所述的机械手臂，其特征在于：所述通孔为多个，所述多个通孔分布成阵列结构。
6.根据权利要求1、3或5所述的机械手臂，其特征在于：所述去除部的总面积为整个U型插片总面积的20％～40％。
7.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于：所述去除部的形状为圆形或多边形。
8.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于：所述U型插片为石英插片。
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