[实用新型]一种机械手臂

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体工艺设备技术领域，特别是涉及一种机械手臂。

背景技术

机械手臂是目前在机械人技术领域中得到广泛实际应用的自动化机械装置，在工业制造、医学治疗、娱乐服务、军事、半导体制造以及太空探索等领域都能看到它的身影。尽管它们的形态各有不同，但它们都有一个共同的特点，就是能够接受指令，精确地定位到三维(或二维)空间上的某一点进行作业。机械手臂根据结构形式的不同分为多关节机械手臂、直角坐标系机械手臂、球坐标系机械手臂、极坐标机械手臂和柱坐标机械手臂等。而对于半导体制造应用来说，常用的机械手臂是用来搬送晶片。

在半导体工艺生产过程中，一般是利用传输系统将晶片从一个机台传送至另一个机台，或将晶片从晶片盒(pod)等收容器中传送至各个机台，或将晶片从机台传送至卡匣收藏保存。在晶片被传送至机台时，是通过机械手臂将晶片传送至机台的反应腔加热器上，而机台对机械手臂的传送精度要求非常之高，这是因为半导体晶片在加热器上的位置偏差的容限非常低，仅容许有1mm的直径偏差。因此，在晶片被置于机械手臂上后，机械手臂需要对晶片进行自动的水平校准，以保证晶片被送至反应室后位置能够精确。然而，如图1所示，由于现有技术中，所使用的机械手臂1的U型插片11比较重，所述U型插片11固定到传送手臂12上后，所述插片11的重心处13至所述U型插片11与所述传送手臂12固定端的距离L较远，约为310mm，这就使得在经过一段时间的使用，在所述U型插片11自身重力的作用下，所述U型插片11非固定端会向下倾斜，使得所述机械手臂1对晶片的水平校准会出现偏差，使得晶片表面出现线性缺陷。

为了解决上述问题，对所述机械手臂做如下改进，如图2所示：改变现有的所述U型插片11水平固定在传送手臂上的现状，将所述U型插片11以一定的角度固定在传送手臂上，使得所述U型插片11在没有放置晶片的时候，所述U型插片11非固定端比固定端高出一定的距离h，约1.5mm。经过以上处理，在晶片被置于所述U型插片11上后，机械手臂可以水平的将晶片传送至反应室相应的位置。然而，上述方法仍然存在问题：1.由于所述U型插片11自身重量较重，将其前端抬高至高于后端1.5mm的高度比较困难；2.将所述U型插片11前端抬高至高于后端1.5mm后，机械手臂进入反应室的时候，很容易碰到反应室壁。

鉴于此，有必要设计一种新的机械手臂用以解决上述技术问题。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种机械手臂，用于解决现有技术中由于机械手臂插片太重，使得机械手臂的水平校准容易出现偏差的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种机械手臂，所述机械手臂包含U型插片，所述U型插片包含主体部、与所述主体部相连接的分叉端和位于所述主体部内的校正孔，所述主体部上开设有至少一个挖除所述主体部部分材料形成的去除部。

作为本实用新型的机械手臂的一种优选方案，所述去除部为凹槽，所述凹槽位于所述主体部的至少一侧表面上。

作为本实用新型的机械手臂的一种优选方案，所述主体部一侧表面上的凹槽为多个，位于所述主体部一侧表面上的多个凹槽分布成阵列结构。

作为本实用新型的机械手臂的一种优选方案，所述去除部为通孔，所述通孔位于所述主体部上校正孔之外的区域内。

作为本实用新型的机械手臂的一种优选方案，所述通孔为多个，所述多个通孔分布成阵列结构。

作为本实用新型的机械手臂的一种优选方案，所述去除部的面积为整个U型插片总面积的20％～40％。

作为本实用新型的机械手臂的一种优选方案，所述去除部的形状为圆形或多边形。

作为本实用新型的机械手臂的一种优选方案，所述U型插片为石英插片。

本实用新型的机械手臂，具有以下有益效果：在所述U型插片上开设有挖除部分材料形成的去除部，可以减轻U型插片自身的重量，无需对U型插片固定方式进行调整，即可以解决由于U型插片自身重量过重而导致的机械手臂水平校准出现偏差的问题，避免了因调整U型插片固定方式而导致的机械手臂进入反应室的时候容易碰到反应室壁问题的发生；将所述去除部设置为多个，且分布成阵列结构，可以在减轻U型插片自身重量的同时，有效地保留其自身的强度，防止晶片置于U型插片上后，U型插片出现水平方向上的偏移；所述U型插片为石英插片，不会对反应室的环境造成污染。

附图说明

图1显示为现有技术中机械手臂的结构示意图。

图2显示为现有技术中的对U型插片固定方式进行调整的示意图。