[实用新型]靶材真空喷涂生产设备

权利要求书

1.靶材真空喷涂生产设备，其特征在于：包括：机架（1）、除尘回收装置（2）和数控水冷却装置（3），在所述机架（1）上设置有真空管（4），在所述真空管（4）内设置有靶材基材（5）和等离子喷枪（6），在所述的真空管（4）上依次设置有涂层测厚仪（7）、涂层测温仪（8）、喷涂仓冷却水进口（9）、氮气保护气体进口（10）、负压气口（11）、靶材表面冷却液氮进口（12）和视觉监控口（13），所述的喷涂仓冷却水进口（9）通过连接水管（14）与所述的数控水冷却装置（3）相连接，所述的负压气口（11）通过负压管（15）与所述的除尘回收装置（2）相连接，所述靶材基材（5）的一端通过接头（16）与旋转轴（17）的一端相连接，所述的旋转轴（17）通过若干支撑辊轮（18）支撑在所述机架（1）上，在所述旋转轴（17）内设置有U形冷却水管（19），所述U形冷却水管（19）的U形端部深入到所述靶材基材（5）的内部，所述U形冷却水管（19）的另一端通过旋转接头（20）分别与两软管（21）相连接，所述的U形冷却水管（19）通过两软管（21）与所述数控水冷却装置（3）相连接，所述旋转接头（20）通过连接块（22）与移动链条（23）相连接，所述的移动链条（23）支撑在与其相互配合的主动链轮（24）和从动链轮（25）上，所述的主动链轮（24）设置在移动驱动电机（26）的转轴（27）上，在所述旋转轴（17）的中部外侧设置有旋转从动齿轮（28），在所述的机架（1）上设置有旋转驱动电机（29），在所述旋转驱动电机（29）的转轴（30）上设置有与所述旋转从动齿轮（28）相互配合的旋转主动齿轮（31）。