[实用新型]靶材真空喷涂生产设备

说明书

技术领域

    本实用新型涉及一种靶材生产设备，尤其涉及一种靶材真空喷涂生产设备。 

背景技术

在建筑玻璃、电子产品显示器等行业都会在产品表面进行镀膜处理，进行表面防护，镀膜时需要使用到靶材，靶材的种类很多，例如：用在建筑玻璃上的硅铝、氧化钛、锌锡、氧化铌等靶材，用在电子产品显示器上的高纯硅靶材，靶材生产过程中需要对其表面进行喷涂，现在国内喷涂设备都是在大气中直接进行喷涂，原材料表面易氧化，微量元素含量不可控，产品品质低，不能满足高端客户要求，噪音高，影响操作人员的身体健康，喷涂效率低，生产成本大，生产周期长，能耗高，原材料不回收，不能满足节能、环保的要求。 

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种喷涂效果好的靶材真空喷涂生产设备。 

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：靶材真空喷涂生产设备，包括：机架、除尘回收装置和数控水冷却装置，在所述机架上设置有真空管，在所述真空管内设置有靶材基材和等离子喷枪，在所述的真空管上依次设置有涂层测厚仪、涂层测温仪、喷涂仓冷却水进口、氮气保护气体进口、负压气口、靶材表面冷却液氮进口和视觉监控口，所述的喷涂仓冷却水进口通过连接水管与所述的数控水冷却装置相连接，所述的负压气口通过负压管与所述的除尘回收装置相连接，所述靶材基材的一端通过接头与旋转轴的一端相连接，所述的旋转轴通过若干支撑辊轮支撑在所述机架上，在所述旋转轴内设置有U形冷却水管，所述U形冷却水管的U形端部深入到所述靶材基材的内部，所述U形冷却水管的另一端通过旋转接头分别与两软管相连接，所述的U形冷却水管通过两软管与所述数控水冷却装置相连接，所述旋转接头（通过连接块与移动链条相连接，所述的移动链条支撑在与其相互配合的主动链轮和从动链轮上，所述的主动链轮设置在移动驱动电机的转轴上，在所述旋转轴的中部外侧设置有旋转从动齿轮，在所述的机架上设置有旋转驱动电机，在所述旋转驱动电机的转轴上设置有与所述旋转从动齿轮相互配合的旋转主动齿轮。 

本实用新型的优点是：上述靶材真空喷涂生产设备，在真空舱内进行喷涂，避免原材料表面氧化，喷涂时原材料物理性状更加稳定，微量元素含量可控，满足高端客户要求，提高产品品质，噪音低，保证操作人员的身体健康，喷涂面积大，生产成本低，喷涂效率高，生产周期短，是常规设备的五分之一到十分之一，节能、环保，原材料可以回收循环利用，密封循环冷却系统，水和热量不易损耗。 

附图说明

图1为本实用新型靶材真空喷涂生产设备的结构示意图。 

图中：1、机架，2、除尘回收装置，3、数控水冷却装置，4、真空管，5、靶材基材，6、等离子喷枪，7、涂层测厚仪，8、涂层测温仪，9、喷涂仓冷却水进口，10、氮气保护气体进口，11、负压气口，12、靶材表面冷却液氮进口，13、视觉监控口，14、连接水管，15、负压管，16、接头，17、旋转轴，18、支撑辊轮，19、U形冷却水管，20、旋转接头，21、软管，22、连接块，23、移动链条，24、主动链轮，25、从动链轮，26、移动驱动电机，27、转轴，28、旋转从动齿轮，29、旋转驱动电机，30、转轴，31、旋转主动齿轮，32、涂层。 

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例详细描述一下本实用新型的具体内容。