[实用新型]一种内置有氟气缓冲罐的氟磷反应器

权利要求书

1.一种内置有氟气缓冲罐的氟磷反应器，所述氟磷反应器包括反应壳体、底座和加磷料仓，所述底座位于所述反应壳体的底面上，所述加磷料仓位于所述反应壳体的顶面上，所述加磷料仓通过输送管固定连接在所述反应壳体上，所述输送管上设置有第一电磁阀，所述反应壳体的顶面上设置有氟气进口，所述反应壳体的侧面设置有五氟化磷出口，其特征在于：所述反应壳体上设置有显示屏和分布管道检测器，所述显示屏上设置有温度显示窗口、压力显示窗口、氟气浓度显示窗口、磷含量显示窗口、温度调节键和压力调节键；所述反应壳体的内部设置有氟气缓冲罐和反应机构，所述氟气缓冲罐上设置有输气孔，所述氟气缓冲罐内设置有气体分布管，所述气体分布管上设置有主管道和支管道，所述主管道连通所述氟气进口，所述支管道连接所述输气孔，所述反应机构包括反应柱，相邻两个所述反应柱之间通过导管连通，所述反应柱内设置有进气室和反应室，所述进气室和所述反应室之间设置有分隔板，所述进气室的内部侧壁上设置有单向进气孔，所述反应室的外部侧壁上设置有单向出气孔，所述反应室内设置有分布片，所述分布片之间通过感应柱固定连接；所述反应壳体与所述底座之间通过转动机构连接，所述转动机构包括支撑板和液压缸，所述支撑板固定连接在所述反应壳体的底面上，所述支撑板通过转轴转动连接在所述底座上。

2.根据权利要求1所述的一种内置有氟气缓冲罐的氟磷反应器，其特征在于：所述气体分布管呈S形。

3.根据权利要求1所述的一种内置有氟气缓冲罐的氟磷反应器，其特征在于：所述反应壳体的内部侧壁上设置有感应器。

4.根据权利要求1所述的一种内置有氟气缓冲罐的氟磷反应器，其特征在于：所述反应柱呈阶梯状分布。

5.根据权利要求1所述的一种内置有氟气缓冲罐的氟磷反应器，其特征在于：所述支撑板呈三角形。

6.根据权利要求1所述的一种内置有氟气缓冲罐的氟磷反应器，其特征在于：所述加磷料仓包括干燥腔、吹扫腔和抽气腔，所述干燥腔的顶面上设置有端盖，所述干燥腔与所述吹扫腔之间设置有连接板，所述连接板上设置有加热格栅，所述连接板的中部设置有贯通孔，所述吹扫腔内设置有吹扫板，所述吹扫板上设置有移动杆，所述移动杆上连接有吹扫管，所述抽气腔内设置有抽气管，所述抽气腔的外部设置有抽气泵，所述抽气泵连通所述抽气管，所述加磷料仓的外部侧面上设置有控制面板。

7.根据权利要求6所述的一种内置有氟气缓冲罐的氟磷反应器，其特征在于：所述连接板的顶面上设置有干燥感应灯。

8.根据权利要求6所述的一种内置有氟气缓冲罐的氟磷反应器，其特征在于：所述连接板的底面上设置有第二电磁阀。