[实用新型]一种多晶硅铸锭炉中的防倒吸装置

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭炉中的防倒吸装置，所述的多晶硅铸锭炉包括密闭的炉体，所述的炉体内固定有用于溶解多晶硅铸锭的坩埚，炉体与坩埚之间形成空腔，其特征在于，所述的炉体的侧壁上开设有通气孔一，所述的坩埚的侧壁上开设有通气孔二，通气孔一的一端与通气孔二之间通过连接管密封相连，通气孔一的另一端还通过真空管与一真空泵相连，本防倒吸装置设置在真空管上，包括单向阀、收集箱一和收集箱二，所述的单向阀设置在真空管上，所述的收集箱一通过安装管一与真空管相连通，安装管一与真空管之间的连接口处于通气孔一与单向阀之间，所述的收集箱二通过安装管二与真空管相连通，安装管二与真空管之间的连接口处于真空泵与单向阀之间。

2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉中的防倒吸装置，其特征在于，所述的安装管一与真空管之间设有密封垫一。

3.根据权利要求2所述的多晶硅铸锭炉中的防倒吸装置，其特征在于，所述的安装管二与真空管之间设有密封垫二。

4.根据权利要求3所述的多晶硅铸锭炉中的防倒吸装置，其特征在于，所述的安装管一和真空管之间的连接口与单向阀之间的间距为5～20cm。

5.根据权利要求4所述的多晶硅铸锭炉中的防倒吸装置，其特征在于，所述的安装管二和真空管之间的连接口与单向阀之间的间距为5～20cm。

6.根据权利要求1～5中任意一项所述的多晶硅铸锭炉中的防倒吸装置，其特征在于，所述的真空管和连接管均采用钢质材料制成。

7.根据权利要求1～5中任意一项所述的多晶硅铸锭炉中的防倒吸装置，其特征在于，所述的坩埚通过支撑架固定在炉体的内部，支撑架包括若干支撑脚和设置在支撑脚上的支撑板。