[实用新型]原位激光质谱光谱同步测量分析仪有效
申请号: | 201420490811.X | 申请日: | 2014-08-28 |
公开(公告)号: | CN204086141U | 公开(公告)日: | 2015-01-07 |
发明(设计)人: | 张大成;马新文;李斌 | 申请(专利权)人: | 中国科学院近代物理研究所 |
主分类号: | G01N21/63 | 分类号: | G01N21/63;G01N27/64 |
代理公司: | 兰州振华专利代理有限责任公司 62102 | 代理人: | 张真 |
地址: | 730000 甘*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 原位 激光 光谱 同步 测量 分析 | ||
1.一种原位激光质谱光谱同步测量分析仪,其特征在于包括有靶样品设于激光光学系统的激光束、激光飞行时间质谱测量装置中的中心轴线及激光诱导击穿光谱测量装置的透镜组轴线相交点上;所述的激光光学系统包括有激光器,在激光束传输通道上设有紫外石英棱镜、紫外石英聚焦透镜以及特征波长高反射镜,激光脉冲聚焦在靶样品的表面产生等离子体羽;在所述的激光飞行时间质谱测量装置的真空腔室的前端还设有监控仪CCD以及靶样品的定位半导体激光器,分别设在靶样品轴线的两侧,CCD及定位半导体激光器轴线均指向靶样品。
2.如权利要求1所述的原位激光质谱光谱同步测量分析仪,其特征在于所述的激光飞行时间质谱测量装置包括圆柱形直线高真空腔室,其顶部设有脉冲进气阀;在高真空腔室内的前端依次设有中心带孔金属阳极片,中心带孔微通道板,以及由金属丝焊接成网状结构的栅网,在其后端设有中心为圆形孔的金属电极片组成的减速加速电场区域,在栅网与金属电极片之间为真空腔室的漂移区;在高真空腔室底部法兰上设有信号输出接口,并通过电缆线与示波器采集通道连接;高真空腔室还通过真空波纹管与真空泵系统连接。
3.如权利要求1所述的原位激光质谱光谱同步测量分析仪,其特征在于所述的激光诱导击穿光谱测量装置包括由石英透镜组成的光谱收集耦合系统,透镜组轴线指向靶样品,光纤与光谱仪连接,光谱仪输出端连接多路脉冲信号延迟器。
4.如权利要求1所述的原位激光质谱光谱同步测量分析仪,其特征在于还包括有电子延迟时间控制系统,包括有多路脉冲信号延迟器,其信号输出端通过电缆线分别与脉冲阀控制器、脉冲激光器电源、光谱仪以及示波器触发端连接。
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