[实用新型]涡旋干式真空泵及真空系统

权利要求书

1.一种涡旋干式真空泵，包括相对设置的静涡旋盘(2)和动涡旋盘(10)，所述静涡旋盘(2)包括静涡旋体、所述动涡旋盘(10)包括动涡旋体，其特征在于，所述静涡旋体的型线和所述动涡旋体的型线均采用阿基米德涡旋线，所述动涡旋体的型线与所述静涡旋体的型线之间具有180°的相位差，所述动涡旋体与所述静涡旋体能够啮合形成压缩腔。

2.根据权利要求1所述的涡旋干式真空泵，其特征在于，所述静涡旋体的型线和所述动涡旋体的型线采用一次阿基米德涡旋线和二次阿基米德涡旋线的配合连接，头部采用二次阿基米德涡旋线，尾部采用一次阿基米德涡旋线，一次阿基米德涡旋线和二次阿基米德涡旋线在连接处具有连续的一次导数和二次导数。

3.根据权利要求1所述的涡旋干式真空泵，其特征在于，所述动涡旋体与所述静涡旋体平行设置，所述动涡旋体与所述静涡旋体之间的平行度小于等于0.005mm。

4.根据权利要求1所述的涡旋干式真空泵，其特征在于，所述静涡旋体和所述动涡旋体之间预留有间隙，所述间隙由外圈向内圈逐渐递减，且内圈间隙保持定值。

5.根据权利要求4所述的涡旋干式真空泵，其特征在于，所述静涡旋体和所述动涡旋体之间预留的单边间隙范围为0.03mm～0.02mm。

6.根据权利要求4所述的涡旋干式真空泵，其特征在于，所述静涡旋体和所述动涡旋体之间的间隙通过密封条(13)密封，所述静涡旋体和所述动涡旋体的顶部分别对应开设有凹槽，所述密封条分别设置于所述静涡旋体和所述动涡旋体的凹槽内。

7.根据权利要求6所述的涡旋干式真空泵，其特征在于，所述密封条(13)包括第一子层(131)以及设置于所述第一子层(131)下方的第二子层(132)，所述第一子层(131)采用超高分子量聚乙烯，所述第二子层(132)采用微发泡橡胶弹性体，所述第一子层(131)与所述第二子层(132)通过粘合剂连接；或所述密封条(13)采用冲压方式成型；

优选，所述第一子层(131)中超高分子量聚乙烯的分子量范围为450万～550万，所述第二子层(132)中微发泡橡胶弹性体为丁橡胶和氯丁橡胶的混合体，所述微发泡橡胶的密度范围为160kg/m³～230kg/m³。

8.根据权利要求1所述的涡旋干式真空泵，其特征在于，进气口(5)设置在所述动涡旋盘(10)的外圈末端处，出气口(1)设置在所述静涡旋盘(2)的中心处，所述进气口(5)能通过机械接口与真空系统外的真空室相连，或者，所述进气口(5)能通过管道方式与真空系统中下一级泵的出气口相连。