[实用新型]涡旋干式真空泵及真空系统

说明书

技术领域

本实用新型属于真空获得设备领域，具体涉及一种涡旋干式真空泵及真空系统。

背景技术

涡旋干式真空泵的工作原理来源于法国人Leno Creux于1905年以可逆转的涡旋膨胀机为题申请的一项专利。该涡旋干式真空泵为采用一个固定，另一个转动的具有连续分离、连续闭合性能的“等螺距渐开线”研发的一种涡旋发动机，但由于当时的加工制造水平有限，而在涡旋干式真空泵的研究和制造工作中，由于其动、静涡旋盘形状特殊，对零件的材料、热处理、加工方案以及组件的装配、密封、定位的要求都很高，导致生产该涡旋真空泵有很大的技术难度，且加工的成本也较高，因此产品化时间很晚，而且只有世界顶尖的真空获得设备生产厂家能够达到质量要求，并进行生产。

因此，如何通过优化产品的结构设计及加工方案，在降低加工难度及加工成本的前提下，满足涡旋干式真空泵的性能及使用要求，成为目前亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术中存在的上述不足，提供一种涡旋干式真空泵及真空系统，该涡旋干式真空泵在满足真空泵自身性能及使用要求的前提下，降低了加工难度及生产成本。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是该涡旋干式真空泵，包括相对设置的静涡旋盘(2)和动涡旋盘(10)，所述静涡旋盘(2)包括静涡旋体、所述动涡旋盘(10)包括动涡旋体，其中，所述静涡旋体的型线和所述动涡旋体的型线均采用阿基米德涡旋线，所述动涡旋体的型线与所述静涡旋体的型线之间具有180°的相位差，所述动涡旋体与所述静涡旋体能够啮合形成压缩腔。

优选的是，所述静涡旋体的型线和所述动涡旋体的型线采用一次阿基米德涡旋线和二次阿基米德涡旋线的配合连接，头部采用二次阿基米德涡旋线，尾部采用一次阿基米德涡旋线，一次阿基米德涡旋线和二次阿基米德涡旋线的连接处具有连续的一次导数和二次导数。

优选的是，所述动涡旋体与所述静涡旋体平行设置，所述动涡旋体与所述静涡旋体之间的平行度小于等于0.005mm。

优选的是，所述静涡旋体和所述动涡旋体之间预留有间隙，所述间隙由外圈向内圈逐渐递减，且内圈间隙保持定值。

优选的是，所述静涡旋体和所述动涡旋体之间预留的单边间隙范围为0.03mm～0.02mm。

优选的是，所述静涡旋盘和所述动涡旋盘之间的端面密封通过密封条(13)密封，所述静涡旋体和所述动涡旋体的顶部分别对应开设有凹槽，所述密封条分别设置于所述静涡旋体和所述动涡旋体的凹槽内。

优选的是，所述密封条(13)包括第一子层(131)以及设置于所述第一子层(131)下方的第二子层(132)，所述第一子层(131)采用超高分子量聚乙烯，所述第二子层(132)采用微发泡橡胶弹性体，所述第一子层(131)与所述第二子层(132)通过粘合剂连接。

优选的是，所述第一子层(131)中超高分子量聚乙烯的分子量范围为450万～550万，所述第二子层(132)中微发泡橡胶弹性体为丁橡胶和氯丁橡胶的混合体，所述微发泡橡胶的密度范围为160kg/m³～230kg/m³。

优选的是，所述密封条(13)采用冲压方式形成。

优选的是，进气口(5)设置在所述动涡旋盘(10)的外圈末端处，出气口(1)设置在所述静涡旋盘(2)的中心处，所述进气口(5)能通过机械接口与真空系统外的真空室相连，或者，所述进气口(5)能通过管道方式与真空系统中下一级泵的出气口相连。

优选的是，所述涡旋干式真空泵包括电机以及连接块(3)、防自转组件(12)，所述电机具有偏心电机轴(9)，所述动涡旋盘(10)设置在所述偏心电机轴(9)上；所述连接块(3)设置在电机壳体(6)上，所述静涡旋盘2设置在所述连接块(3)上；所述防自转组件(12)与所述动涡旋盘(10)和所述连接块(3)同时连接，所述防自转组件(12)使得所述动涡旋盘(10)在所述偏心电机轴(9)的带动下能相对于所述静涡旋盘(2)以偏心电机轴(9)的偏心距形成的圆轨迹做平动运动。

优选的是，所述连接块(3)通过过渡配合固定在所述电机壳体(6)上，所述静涡旋盘(2)通过定位销固定在连接块(3)上，所述偏心电机轴(9)与所述静涡旋盘(2)和所述连接块(3)相配合处的基准面的垂直度在0.005mm以内；所述防自转组件(12)包括三个防自转件，三个所述防自转件的一端均匀分设在所述动涡旋盘(10)上、另一端设置在所述连接块(3)上。