[实用新型]一种高纯气体重量法配气装置有效

专利信息
申请号: 201420499200.1 申请日: 2014-09-01
公开(公告)号: CN204062497U 公开(公告)日: 2014-12-31
发明(设计)人: 胡树国 申请(专利权)人: 中国计量科学研究院
主分类号: F17D3/12 分类号: F17D3/12;F17D1/04
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 张海英;胡彬
地址: 100013 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 高纯 气体 重量 法配气 装置
【权利要求书】:

1.一种高纯气体重量法配气装置,包括真空系统、电子高真空真空计(17)、电子压力计(18)、气路系统,气路系统中第一截止阀(1)与第一进气口(19)连接,第二截止阀(2)与第二进气口(20)相连,第一进气口(19)、第一截止阀(1)与第二进气口(20)、第二截止阀(2)通过管路并联连接,第五截止阀(5)、第六截止阀(6)、第七截止阀(7)、第八截止阀(8)通过管路并联连接后的总管路一端连接第一阀(1)、第二截止阀(2)所在的管路,另一端连接第九截止阀(9)、第十三截止阀(13)通过管路并联连接的管路,第九截止阀(9)所在管路连接气体排放口(21),第十三截止阀(13)与气体出口(22)连接,第十三截止阀(13)还与第十截止阀(10)、第十一截止阀(11)、第十二截止阀(12)并联连接,第十截止阀(10)、第十一截止阀(11)、第十二截止阀(12)分别连接吹扫口(23),真空系统通过阀与管路接入第八截止阀(8)管路靠近气瓶的一侧,所述电子高真空真空计(17)与真空系统所在的管路相连,电子压力计(18)与第五截止阀(5)所在的管路靠近第一截止阀(1)的一端相连,其特征在于:第五截止阀(5)、第六截止阀(6)、第七截止阀(7)所在管路靠近第十三截止阀(13)的一端分别接有孔板流量计。

2.根据权利要求1所述的高纯气体重量法配气装置,其特征在于:所述管路与管路之间和管路与接头之间采用焊接方式连接,阀与接头之间采用VCR金属垫片面密封连接。

3.根据权利要求1或2所述的高纯气体重量法配气装置,其特征在于:所述管路采用EP级管路,内部经过电子抛光处理。

4.根据权利要求3所述的高纯气体重量法配气装置,其特征在于:所述真空系统包括机械泵(14)和分子泵(15),所述机械泵(14)通过第四截止阀(4)、管路和第八截止阀(8)所在管路相连,所述分子泵(15)通过第三截止阀(3)、管路与第八截止阀(8)所在管路相连,所述电子高真空真空计(17)与分子泵(15)所在管路相连。

5.根据权利要求4所述的高纯气体重量法配气装置,其特征在于:还包括用于将所述管路和阀加热至预设温度的加热装置。

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