[实用新型]一种高纯气体重量法配气装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及气体标准物质制备和气体计量技术应用领域，尤其涉及一种高纯气体重量法配气装置。

背景技术

在化学计量领域，主要是通过标准物质进行量值传递的。如仪器的校准、产品特性量值的检测、测量方法的准确度以及量值仲裁等。重量法配气装置是气体标准物质制备过程中最重要的设备，装置的合理设计不仅可以应对各种不同气体的制备，而且还能够提供制备效率。一般的重量法配气装置内部管路与阀的连接方式多以卡套式为主，管路也为普通BA级不锈钢管。这样的装置可以满足一般常见的气体标准物质制备，但对于制备高纯气体标准物质而言，装置还存在着较多不足的地方。高纯气体标准物质是以高纯氮气、氩气和氦气为主体，包含(0.1-5)umol/mol氢气、氧气、氩气、氮气、甲烷、一氧化碳和二氧化碳等气体的高准确度气体标准物质。由于空气中含有大量的氮气、氧气和水分，对其制备有很大的干扰。

现有普通重量法配气装置内通过针形阀来控制稀释气体的流量，针型阀的密封性差，容易形成泄露点，影响最终制备气体标准物质的效果。装置使用的主要是卡套式联接，该种联接方式的泄露率较高，环境中的空气易于干扰制备过程。装置内部采用的管路绝大多数为内壁没有经过特殊处理的不锈管，这样的管路内壁容易吸附水分，而且即使经过真空处理和反复冲洗，其表面吸附的水分也很难完全脱离，影响最终制备的标准物质中的水分含量。现有装置的真空系统一般为机械泵，整个系统真空度不能小于1×10^-3Pa，真空效果差，导致装置内部残余气体较多，干扰制备过程。

基于以上描述，亟需一种新的高纯气体重量法配气装置，以解决现有技术中存在的针型阀密封性差所导致的容易形成泄露点的问题。

实用新型内容

本实用新型目的在于提出高纯气体重量法配气装置，能够使得装置具有较高的气密性,降低泄漏率。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种高纯气体重量法配气装置，包括真空系统、电子高真空真空计、电子压力计、气路系统，气路系统中第一截止阀与第一进气口连接，第二截止阀与第二进气口相连，第一进气口、第一截止阀与第二进气口、第二截止阀通过管路并联连接,第五截止阀、第六截止阀、第七截止阀、第八截止阀通过管路并联连接后的总管路一端连接第一阀、第二截止阀所在的管路，另一端连接第九截止阀、第十三截止阀通过管路并联连接的管路，第九截止阀所在管路连接气体排放口，第十三截止阀与气体出口连接，第十三截止阀还与第十截止阀、第十一截止阀、第十二截止阀并联连接，第十截止阀、第十一截止阀、第十二截止阀分别连接吹扫口，真空系统通过阀与管路接入第八截止阀管路靠近气瓶的一侧，所述电子高真空真空计与真空系统所在的管路相连，电子压力计与第五截止阀所在的管路靠近第一截止阀的一端相连，其特征在于：第五截止阀、第六截止阀、第七截止阀所在管路靠近第十三截止阀的一端分别接有孔板流量计。

具体地，所述管路与管路之间和管路与接头之间采用焊接方式连接，阀与接头之间采用VCR金属垫片面密封连接。

进一步地，所述管路采用EP级管路，内部经过电子抛光处理。

进一步地，所述的高纯气体重量法配气装置真空系统包括机械泵和分子泵，所述机械泵通过第四截止阀与管路和第八截止阀所在管路相连，所述分子泵通过第三截止阀和管路与第八截止阀所在管路相连，所述电子高真空真空计与分子泵所在管路相连。

进一步地，所述的高纯气体重量法配气装置还包括用于将所述管路和阀加热至预设温度的加热装置。

本实用新型的有益效果为：本实用新型采用孔板流量计控制高纯稀释气体的流量，其优势在于管路内不存在死体积，降低泄漏率。

本实用新型中的管路与管路之间和管路与街头直间采用焊接方式连接，阀门与接头管路之间采用VCR金属垫片密封连接，降低了泄漏率。

本实用新型中装置的内部管路采用EP级管路，内部经过电子抛光处理，减少了水分在管路上的吸附。

本实用新型中的真空系统包括机械泵和分子泵，初级真空采用机械泵，高真空采用分子泵，降低了装置中残余气体对配气过程的干扰。

本实用新型中的阀和管路全部控温，使得装置内部管壁上的水分能够在加热并同时高真空的状态下快速脱离。

附图说明

图1是本实用新型高纯气体重量法配气装置的结构示意图；

图中：