[实用新型]一种快速热退火装置

权利要求书

1.一种快速热退火装置，其特征在于，所述快速热退火装置包括：

硅片盒承载装置，用于承载待退火之晶圆；

开放式传送机构，通过交换门与所述硅片盒承载装置连接；

气体净化交换腔，用于净化腔室内气体，并接受经过所述开放式传送机构传送的所述待退火之晶圆；

气体净化传送腔，用于净化腔室内气体，并在所述气体净化传送腔内传送进入气体净化交换腔内的待退火之晶圆；

快速热退火工艺腔，接受来自所述气体净化传送腔的待退火之晶圆，并在预设温度和环境条件下对所述晶圆进行退火，且在所述晶圆完成退火后便于所述气体净化传送腔传送至所述气体净化交换腔内降温。

2.如权利要求1所述的快速热退火装置，其特征在于，所述硅片盒承载装置内承载的晶圆盒数量为2个，每个晶圆盒装载的晶圆数量为25枚。

3.如权利要求1所述的快速热退火装置，其特征在于，所述开放式传送机构的传送频率为5枚/次。