[实用新型]用于高真空镀膜机锌炉加热器的冷却挡板有效
| 申请号： | 201420516189.5 | 申请日： | 2014-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN204080095U | 公开（公告）日： | 2015-01-07 |
| 发明（设计）人： | 束长青;朱永伦;钱泽友;俞群力 | 申请（专利权）人： | 安徽铜峰电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 合肥和瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 34118 | 代理人： | 王挺 |
| 地址： | 244000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 真空镀膜 机锌炉 加热器 冷却 挡板 | ||
【权利要求书】：
1.用于高真空镀膜机锌炉加热器的冷却挡板，其特征在于：挡板(3)外壁上开有用来容纳铜管(4)的呈盘形弯曲的安装槽(5)，安装槽(5)的进、出口设置在挡板(3)侧壁上；安装槽(5)内固定有铜管(4)，铜管(4)与安装槽(5)壁采用锡料(6)焊接固定，铜管(4)的进、出口端沿安装槽(5)进、出口位置延伸至挡板(3)外部，铜管(4)的进、出口端分别固定有管接头(1、2)。
2.根据权利要求1所述的用于高真空镀膜机锌炉加热器的冷却挡板，其特征在于：所述铜管(4)截面呈半圆形，铜管(4)的平面管壁部分与安装槽(5)底部平面配合。
3.根据权利要求1或2所述的用于高真空镀膜机锌炉加热器的冷却挡板，其特征在于：安装槽(5)的进、出口设置在挡板(3)的同一侧壁上。
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