[实用新型]曝光框对位装置

权利要求书

1.一种曝光框对位装置，应用于曝光机的曝光框上，该曝光框用于装设光罩，其特征在于，该曝光框对位装置包括：

支撑架；及

多个调整单元，设置于该支撑架上并连接该曝光框，每个调整单元包括：

基座，具有相垂直的第一水平滑动接合组件和第一垂直滑动接合组件；

第一滑块，具有第二水平滑动接合组件及第一斜面滑动接合组件，该第二水平滑动接合组件可滑动地设置于该基座的第一水平滑动接合组件上，该第一斜面滑动接合组件固定于该第一滑块的第一斜面上；

线性驱动器，连接该第一滑块，用于驱动该第一滑块相对该基座水平平移；

第二滑块，具有第二垂直滑动接合组件和第二斜面滑动接合组件，该第二垂直滑动接合组件可滑动地设置于该基座的第一垂直滑动接合组件上，该第二斜面滑动接合组件固定于该第二滑块的第二斜面上并与该第一滑块的第一斜面滑动接合组件滑动接合，以使该第一滑块带动该第二滑块相对该基座垂直平移；及

万向接头，设置于该第二滑块底部并与该曝光框连接。

2.根据权利要求1所述的曝光框对位装置，其特征在于，该第二滑块底部设置有限位滑轨，该万向接头具有对应接合该限位滑轨的限位导槽，该限位滑轨平行该基座的第一水平滑动接合组件。

3.根据权利要求1或2中任一项所述的曝光框对位装置，其特征在于，该线性驱动器具有马达和驱动杆，该驱动杆的两端分别连接该马达及该第一滑块。

4.根据权利要求3所述的曝光框对位装置，其特征在于，该第一水平滑动接合组件是导槽与滑轨其中之一，该第二水平滑动接合组件是导槽与滑轨中的另一。

5.根据权利要求3所述的曝光框对位装置，其特征在于，该第一垂直滑动接合组件是导槽与滑轨其中之一，该第二垂直滑动接合组件是导槽与滑轨中的另一。

6.根据权利要求3所述的曝光框对位装置，其特征在于，该第一斜面滑动接合组件是导槽与滑轨其中之一，该第二斜面滑动接合组件是导槽与滑轨中的另一。

7.根据权利要求3所述的曝光框对位装置，其特征在于，所述调整单元的数量是三个，其排列于等腰三角形的顶点。