[实用新型]曝光框对位装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种曝光框对位装置，应用于半导体制造过程的曝光机的曝光框中，以依据待曝光基板的位置及水平程度来调整曝光框及曝光框所装设的光罩的位置及水平程度。

背景技术

现有技术中，曝光机包括曝光平台、正对该曝光平台的曝光框及曝光光源，该曝光平台用于承载例如光学膜或电路板等基板，该曝光框用于装设光罩，曝光光源将光罩上的电路图案(pattern)曝光于该曝光平台上的基板的被曝光面。

在曝光过程中，装设有光罩的曝光框与承载有基板的曝光平台相对接近及对位，该光罩贴合至该基板的被曝光面上后，开启该曝光光源进行曝光。一般而言，该曝光框及该曝光平台被校正成使所分别装设的光罩及基板成水平且彼此平行，然而，该基板可能因基板本身质量、制造过程表面处理、更换光罩的操作及基板传送设备的机构误差等原因导致该基板的被曝光面相对曝光框上的光罩倾斜，导致曝光框上的光罩无法完全贴合于该基板的被曝光面，影响曝光分辨率，而使制造过程质量不佳。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种曝光框对位装置，其可依据曝光平台上的基板的位置及水平程度，而对应调整曝光框及曝光框所装设的光罩的位置及水平程度。

为达上述目的及其他目的，本实用新型提出一种曝光框对位装置，应用于曝光机的曝光框上，该曝光框用于装设光罩，该曝光框对位装置包括支撑架及多个调整单元，所述调整单元设置于该支撑架上并连接该曝光框，每个调整单元包括基座、第一滑块、线性驱动器、第二滑块以及万向接头，其中，该基座具有相垂直的第一水平滑动接合组件及第一垂直滑动接合组件；该第一滑块具有第二水平滑动接合组件及第一斜面滑动接合组件，该第二水平滑动接合组件可滑动地设置于该基座的第一水平滑动接合组件上，该第一斜面滑动接合组件固定于该第一滑块的第一斜面上；该线性驱动器连接该第一滑块，用于驱动该第一滑块相对该基座水平平移；该第二滑块具有第二垂直滑动接合组件及第二斜面滑动接合组件，该第二垂直滑动接合组件可滑动地设置于该基座的第一垂直滑动接合组件上，该第二斜面滑动接合组件固定于该第二滑块的第二斜面上并与该第一滑块的第一斜面滑动接合组件滑动接合，以使该第一滑块带动该第二滑块相对该基座垂直平移；该万向接头设置于该第二滑块底部并与该曝光框连接。

上述的曝光框对位装置，其中该第二滑块底部设置有限位滑轨，该万向接头具有对应接合该限位滑轨的限位导槽，该限位滑轨平行该基座的第一水平滑动接合组件。

上述的曝光框对位装置，其中该线性驱动器具有马达及驱动杆，该驱动杆的两端分别连接该马达及该第一滑块。

上述的曝光框对位装置，其中该第一水平滑动接合组件是导槽与滑轨的两者中之一，该第二水平滑动接合组件是导槽与滑轨的两者中的另一。

上述的曝光框对位装置，其中该第一垂直滑动接合组件是导槽与滑轨的两者中之一者，该第二垂直滑动接合组件是导槽与滑轨的两者中的另一。

上述的曝光框对位装置，其中该第一斜面滑动接合组件是导槽与滑轨的两者中之一，该第二斜面滑动接合组件是导槽与滑轨的两者中的另一。

上述的曝光框对位装置，其中所述调整单元的数量是三个，其排列于等腰三角形的顶点。

因此，本实用新型的曝光框对位装置可根据该曝光平台上的基板的被曝光面的位置或基板的被曝光面与该光罩的间距，而通过该线性驱动器驱动该第一滑块，该第一滑块水平平移并带动该第二滑块垂直平移，进而使连接在该曝光框对位装置下方的曝光框及曝光框底部装设的光罩调整至相对该基板的适当位置，即该光罩与该基板几乎无间距，且该光罩不会压迫该基板，并且，在该曝光框底部装设的光罩朝接近或远离该曝光平台上的基板移动的同时，该光罩与该曝光框的水平程度是通过该曝光框对位装置的万向接头而具有自由度，可依据该基板的被曝光面的水平程度而使该曝光框被小角度地调整，进而增进该光罩与该基板的贴合度。

附图说明

图1是根据本实用新型的一实施例的曝光框对位装置的立体示意图。

图2是根据本实用新型的一实施例的曝光框对位装置的侧面示意图。

图3是根据本实用新型的一实施例的调整单元的结构示意图。

图4A和图4B是根据本实用新型的一实施例的曝光框对位装置的动作示意图。

图5是根据本实用新型的一实施例的三个调整单元设置于曝光框上的位置示意图。

附图标记为：

1    支撑架

2    调整单元

10   ，基座

11   第一水平滑动接合组件