[实用新型]用于丝锯的传递装置及用于切割半导体锭料的集成系统

权利要求书

1.一种用于丝锯(150)的传递装置(100)，其特征在于，所述传递装置(100)适用于传递半导体锭料(10)，且包含：

夹持器(200)，用于可翻转地夹持所述半导体锭料(10)；

载体(20)，用于运载所述半导体锭料(10)；

载体支撑件(30)，通过第一z致动器(40)垂直地可移动；

x致动器(60)，附接于所述夹持器，用于往返于所述丝锯(150)水平地移动所述半导体锭料(10)；

控制器(90)，通讯地耦接到所述第一z致动器(40)和所述x致动器(60)，所述控制器(90)用于控制所述第一z致动器(40)和所述x致动器(60)的运动；其中

所述传递装置(100)适于传递大块半导体锭料(10)，所述半导体锭料(10)的质量大于50kg。

2.如权利要求1所述的传递装置(100)，其特征在于

所述载体支撑件(30)包含穿过位置(32)。

3.如权利要求2所述的传递装置(100)，其特征在于

所述x致动器(60)被配置以用于延伸贯穿所述载体支撑件(30)的所述穿过位置(32)。

4.如权利要求2或3所述的传递装置(100)，其特征在于

所述载体支撑件(30)的所述穿过位置(32)位于所述载体支撑件(30)的顶架(31)和所述载体支撑件(30)的下部横梁(34)之间。

5.如权利要求1或2所述的传递装置(100)，其特征在于，进一步包含：

数个脚轮(51)。

6.如权利要求1或2所述的传递装置(100)，其特征在于，进一步包含：

夹紧系统(500)，用于将所述传递装置(100)紧固到所述丝锯(150)。

7.如权利要求1或2所述的传递装置(100)，其特征在于，进一步包含：

定位装置(600)，用于决定所述传递装置(100)的位置。

8.如权利要求1或2所述的传递装置(100)，其特征在于，进一步包含：

读出器(700)，用于识别所述载体(20)。

9.如权利要求1或2所述的传递装置(100)，其特征在于，进一步包含：

第二载体支撑件(35)，通过第二z致动器(42)垂直地可移动；其中

所述x致动器(60)被配置以用于延伸贯穿所述第二载体支撑件(35)的穿过位置。

10.如权利要求1或2所述的传递装置(100)，其特征在于：

每一第一z致动器(40)、第二z致动器(42)、和x致动器(60)各自包括用于驱动相应致动器的相应电动机(44)。

11.一种用于丝锯(150)的传递装置(100)，其特征在于，所述传递装置适用于传递半导体锭料(10)，且包含：

夹持器(200)，用于可翻转地夹持所述半导体锭料(10)；

载体(20)，用于运载所述半导体锭料(10)；

载体支撑件(30)，所述载体支撑件具有穿过位置(32)，其中所述夹持器(200)经由x致动器(60)水平地可移动，以便往返于所述丝锯(150)传递所述半导体锭料(10)；

控制器(90)，通讯地耦接到所述x致动器(60)，所述控制器用于控制所述x致动器(60)的运动；其中

所述传递装置(100)适于传递大块半导体锭料(10)，所述半导体锭料的质量大于50kg。

12.如权利要求11所述的传递装置(100)，其特征在于，进一步包含：

第一z致动器(40)，用于垂直地移动所述载体支撑件(30)。

13.如权利要求11和12中任一项所述的传递装置(100)，其特征在于

所述x致动器(60)被配置以用于延伸贯穿所述载体支撑件(30)的所述穿过位置(32)。

14.如权利要求11或12所述的传递装置(100)，其特征在于，进一步包含

数个脚轮(51)。

15.如权利要求11或12所述的传递装置(100)，其特征在于，进一步包含

夹紧系统(500)，用于将所述传递装置(100)紧固到所述丝锯(150)。