[实用新型]用于丝锯的传递装置及用于切割半导体锭料的集成系统

说明书

技术领域

本文公开的实施例涉及往返于丝锯传递半导体锭料的传递装置，及传递装置和丝锯的系统。

背景技术

太阳能电池通常被形成在诸如硅的半导体基板上。半导体材料的锭料可在工艺中由丝锯切割以产生诸如晶片的基板。锭料可被装载到丝锯中，该锭料在该丝锯处被切割，且随后锭料被移动用于进一步处理。诸如手推车、台车，和升降机的各种辅助装置可在工厂周围人工地移动锭料。例如拾取和/或传送锭料的损失时间、以及误处理锭料可导致过多的工具闲置时间和产品报废。需要降低闲置时间和减少误处理锭料的机会，和增加可用时间和产量。因此，需要提高装载和卸载半导体锭料的效率。

实用新型内容

根据实施例，适于传递半导体锭料的用于丝锯的传递装置包括：夹持器，用于可翻转地夹持半导体锭料；载体，用于运载半导体锭料；载体支撑件，由z致动器垂直地可移动；x致动器，附接于夹持器以便往返于丝锯水平地移动锭料；和控制器，通讯地耦接到致动器。控制器是用于控制致动器的运动。传递装置适于传递大块半导体锭料，所述锭料的质量大于50kg。

根据实施例，适于传递半导体锭料的用于丝锯的传递装置包括：夹持器，用于可翻转地夹持半导体锭料；载体，用于运载半导体锭料；和载体支撑件。载体支撑件具有穿过(pass-through)位置。夹持器经由x致动器水平地可移动，以用于往返于丝锯传递半导体锭料。控制器被通讯地耦接到致动器，且控制器被用于控制x致动器的运动。传递装置适于传递大块半导体锭料，所述半导体锭料的质量大于50kg。

根据实施例，适于传递半导体锭料的用于丝锯的传递装置包括：夹持器，用于可翻转地夹持半导体锭料；载体，用于运载半导体锭料；和第一载体支撑件和第二载体支撑件，所述载体支撑件由各个z致动器垂直地可移动。每一载体支撑件包括各个穿过位置。传递装置包括x致动器，所述x致动器附接于夹持器用于往返于丝锯水平地移动半导体锭料。x致动器包括伸缩臂，所述伸缩臂被配置以在第一载体支撑件的第一穿过位置处延伸贯穿第一载体支撑件。伸缩臂被配置以在第二载体支撑件的第二穿过位置处延伸贯穿第二载体支撑件。传递装置还包括控制器，所述控制器通讯地耦接到致动器，所述控制器用于控制致动器的运动。传递装置还包括：夹紧系统，用于将传递装置紧固到丝锯；定位装置，用于决定传递装置的位置；和读出器，用于识别载体。每一z致动器和x致动器包括用于驱动致动器的各个伺服电动机。传递装置适于传递大块半导体锭料，所述半导体锭料的质量大于60kg。

本案的这些和其他特征、方面和优点将参考以下描述、附图和附加权利要求更好地理解。并入且构成本说明书一部分的附图图示本主题的实施例，且与描述一起用于解释本案的原理。

附图说明

附图涉及本文所述的实施例。

图1图示根据本文所述的实施例的传递装置。

图2图示根据本文所述的实施例的传递装置。

图3图示根据本文所述的实施例的传递装置。

图4图示根据本文所述的实施例的传递装置。

图5图示根据本文所述的实施例的载体支撑件。

图6图示根据本文所述的实施例的z致动器。

图7图示根据本文所述的实施例的传递装置的一部分。

图8图示根据本文所述的实施例的传递装置的一部分。

图9图示根据本文所述的实施例的x致动器。

图10图示根据本文所述的实施例的传递装置。

图11图示根据本文所述的实施例的传递装置。

图12图示根据本文所述的实施例的传递装置的一部分。

图13图示根据本文所述的实施例的传递装置。

图14图示根据本文所述的实施例的传递装置的一部分。

图15图示根据本文所述的实施例的传递装置和丝锯。

图16图示根据本文所述的实施例的包括传递装置和丝锯的工厂布局。

图17图示根据本文所述的实施例的锭料清洗模块。

具体实施方式

在本文中，“锭料”可以是诸如硅，具体而言结晶硅的半导体锭料，和/或用作太阳能电池的材料。锭料可以例如是经切割半导体锭料或未经切割半导体锭料。例如，锭料可以是正方形单晶硅锭料、多晶硅砖，或圆柱形半导体锭料。

在本文中，“夹持器”可以例如是“终端受动器”，且夹持器可包括用于夹持锭料的机构和/或附接于锭料的板材。在本文中，“载体”可以例如是诸如箱体的部分外壳。在本文中，“载体支撑件”可以例如是能够支撑至少一个锭料和载体的重量的结构。